浙江长兴合利光电科技有限公司黄饶获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江长兴合利光电科技有限公司申请的专利工件旋转湿法蚀刻减薄设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223033284U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421940561.5,技术领域涉及:C03C15/00;该实用新型工件旋转湿法蚀刻减薄设备是由黄饶;肖斌;刘伟平;郑秉玺设计研发完成,并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本工件旋转湿法蚀刻减薄设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了工件旋转湿法蚀刻减薄设备,包括外壳,所述外壳的内部设置有玻璃板,还包括喷淋机构,所述喷淋机构包括喷淋组件和摆动组件,所述喷淋组件包括喷淋管,所述摆动组件包括联动板,旋转机构,所述旋转机构包括转动组件和驱动组件,所述转动组件包括转动框,安装组件;本实用新型利用外壳、喷淋机构、玻璃板、旋转机构和安装组件的设计,通过安装组件,将玻璃板放置在转动框的内部,通过旋转电机带动转动框可以进行转动,随着喷淋管进行药液的喷洒,转动电机的启动,通过联动板带动移动框的摆动,从而可以使药液喷洒的更加均匀,同时配合转动框的转动,可以有效去除凸台边缘氟化钙堆积产生的锯齿。
本实用新型工件旋转湿法蚀刻减薄设备在权利要求书中公布了:1.工件旋转湿法蚀刻减薄设备,包括外壳1,所述外壳1的内部设置有用于待加工的玻璃板3,其特征在于,还包括: 喷淋机构2,所述喷淋机构2用于喷洒药液和清洗液,所述喷淋机构2包括喷淋组件和摆动组件,所述喷淋组件包括喷淋管22,所述摆动组件包括联动板24,所述联动板24设置在喷淋管22的一侧; 旋转机构5,所述旋转机构5用于转动玻璃板3,所述旋转机构5包括转动组件和驱动组件,所述转动组件包括转动框54,所述玻璃板3设置在转动框54的内部; 安装组件6,所述安装组件6用于将玻璃板3和转动框54固定安装。
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