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新存科技(武汉)有限责任公司许定获国家专利权

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龙图腾网获悉新存科技(武汉)有限责任公司申请的专利研磨垫修整盘更换装置及研磨垫修整盘更换系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223029430U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421915400.0,技术领域涉及:B24B53/017;该实用新型研磨垫修整盘更换装置及研磨垫修整盘更换系统是由许定设计研发完成,并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

研磨垫修整盘更换装置及研磨垫修整盘更换系统在说明书摘要公布了:本申请提供了一种研磨垫修整盘更换装置及研磨垫修整盘更换系统,研磨垫修整盘更换装置包括第一承载台、第一驱动件及第一腔体,通过第一承载台以及第一腔体的配合可实现待换上的研磨垫修整盘以及待换下的研磨垫修整盘的自动替换,从而减少相关技术中人工替换研磨垫修整盘所浪费的制程时间,进而提高化学机械抛光设备的机台利用率。

本实用新型研磨垫修整盘更换装置及研磨垫修整盘更换系统在权利要求书中公布了:1.一种研磨垫修整盘更换装置,其特征在于,包括: 第一承载台,用于承载研磨垫修整盘; 第一驱动件,与所述第一承载台连接且用于驱动所述第一承载台沿第一方向活动;及 第一腔体,包括第一上腔体和第一下腔体,所述第一上腔体用于容纳待换上的所述研磨垫修整盘,所述第一下腔体用于容纳待换下的所述研磨垫修整盘; 所述第一上腔体和所述第一下腔体的连接处设有在所述第一方向上相对且平行于所述第一承载台台面的第一开口和第二开口,所述第一开口的高度大于所述第一承载台的厚度且小于所述第一承载台和所述研磨垫修整盘的厚度之和,所述第二开口的高度大于所述第一承载台和所述研磨垫修整盘的厚度之和。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人新存科技(武汉)有限责任公司,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创新园一期B4栋18楼534(自贸区武汉片区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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