鹏博(天津)智能科技有限公司周学文获国家专利权
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龙图腾网获悉鹏博(天津)智能科技有限公司申请的专利一种半导体生产用涂胶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223027648U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421844215.7,技术领域涉及:B05C1/02;该实用新型一种半导体生产用涂胶设备是由周学文;李周坤设计研发完成,并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产用涂胶设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种半导体生产用涂胶设备,涉及半导体加工技术领域;本申请包括机架、转动设置在机架两端的传输辊以及传动绕设在两个传输辊上的传输带,还包括:涂胶机构,包括设置在机架上的安装架,所述安装架的一侧设置有环板,所述环板的内壁设置有套壳,所述套壳内转动设置有涂胶轮,所述安装架上设置有胶罐,所述胶罐与套壳之间连通有输送管;本申请在两个传输辊上传动绕设两个传输带,两个传输带之间具有间隙,将晶圆放置在两个传输带上传输,通过电动推杆和吸附旋转件的配合,将晶圆吸附固定,并将晶圆顶升至环板内进行旋转,使得涂胶轮对晶圆的外表面进行滚动抵触,从而将胶水均匀的涂覆在晶圆的外表面,使得涂胶均匀。
本实用新型一种半导体生产用涂胶设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体生产用涂胶设备,包括机架1、转动设置在机架1两端的传输辊2以及传动绕设在两个传输辊2上的传输带3,其特征在于,还包括: 涂胶机构4,包括设置在机架1上的安装架401,所述安装架401的一侧设置有环板402,所述环板402的内壁设置有套壳403,所述套壳403内转动设置有涂胶轮404,所述安装架401上设置有胶罐405,所述胶罐405与套壳403之间连通有输送管406; 承托板5,设置在机架1的底部,所述承托板5上设置有电动推杆6,所述电动推杆6的活塞端设置有吸附旋转件7,吸附旋转件7用于吸附固定晶圆并带动其旋转。
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