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苏州星烁纳米科技有限公司王允军获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州星烁纳米科技有限公司申请的专利一种自动旋涂薄膜制备机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223027687U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421841833.6,技术领域涉及:B05C5/02;该实用新型一种自动旋涂薄膜制备机是由王允军;张思源设计研发完成,并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种自动旋涂薄膜制备机在说明书摘要公布了:本申请提供一种自动旋涂薄膜制备机,包括:基板台、试剂瓶台、枪头台、试剂瓶定位装置、旋涂仪、烤胶机、加液搬运器、滑轨组件和控制器,所述基板台、试剂瓶台、枪头台分别用于放置一个或多个基板、试剂瓶、移液枪头,所述试剂瓶定位装置、旋涂仪、烤胶机、加液搬运器、滑轨组件分别与控制器电连接,所述加液搬运器与滑轨组件连接,所述加液搬运器用于将所述基板搬运到旋涂仪、将所述试剂瓶搬运到试剂瓶定位装置并打开瓶盖、将所述移液枪头装配并吸取试剂瓶内的试剂滴加到基板上,所述旋涂仪用于将滴加试剂后的基板旋转涂布,所述加液搬运器还用于将旋涂后基板搬运到烤胶机,所述烤胶机用于将旋涂后基板加热使试剂固化形成薄膜。

本实用新型一种自动旋涂薄膜制备机在权利要求书中公布了:1.一种自动旋涂薄膜制备机,其特征在于,包括:基板台1、试剂瓶台2、枪头台3、试剂瓶定位装置4、旋涂仪5、烤胶机6、加液搬运器7、滑轨组件8和控制器9,所述基板台1、试剂瓶台2、枪头台3分别用于放置一个或多个基板、试剂瓶、移液枪头,所述试剂瓶定位装置4、旋涂仪5、烤胶机6、加液搬运器7、滑轨组件8分别与控制器9电连接,所述加液搬运器7与滑轨组件8连接,所述加液搬运器7用于将所述基板搬运到旋涂仪5、将所述试剂瓶搬运到试剂瓶定位装置4并打开瓶盖、将所述移液枪头装配并吸取试剂瓶内的试剂滴加到基板上,所述旋涂仪5用于将滴加试剂后的基板旋转涂布,所述加液搬运器7还用于将旋涂后基板搬运到烤胶机6,所述烤胶机6用于将旋涂后基板加热使试剂固化形成薄膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州星烁纳米科技有限公司,其通讯地址为:215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW06-403室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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