上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司陈龙获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种清洗槽用晶圆承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421682699.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种清洗槽用晶圆承载装置是由陈龙;陈新来设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗槽用晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种清洗槽用晶圆承载装置，晶圆接触组件，分别与第一纵向支撑板的下端和第二纵向支撑板的下端可拆卸连接，用于承载晶圆置于清洗设备的清洗槽内；晶圆接触组件包括第一V型齿条、第二V型齿条、第一Y型齿条和第二Y型齿条，第一Y型齿条和第二Y型齿条均设置在第一V型齿条和第二V型齿条之间；晶圆的边缘接触第一V型齿条的齿槽和第二V型齿条的齿槽时，晶圆的边缘悬空在第一Y型齿条的齿槽和第二Y型齿条的齿槽内。减少晶圆与接触器的接触点，提升对晶圆的清洗效果，减少晶圆和沟槽的摩擦，避免晶圆被不必要的划伤。此外，Y型的齿条设计对晶圆具有放倒效果。
本实用新型一种清洗槽用晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗槽用晶圆承载装置，其特征在于，包括： 第一主支撑板和第二主支撑板，用于固定在清洗设备的机台上； 第一纵向支撑板和第二纵向支撑板； 第一横向支撑板和第二横向支撑板，所述第一横向支撑板分别连接所述第一纵向支撑板的上端和所述第一主支撑板，所述第二横向支撑板分别连接所述第二纵向支撑板的上端和所述第二主支撑板； 晶圆接触组件，分别与所述第一纵向支撑板的下端和所述第二纵向支撑板的下端可拆卸连接，用于承载晶圆置于所述清洗设备的清洗槽内； 所述晶圆接触组件包括第一V型齿条、第二V型齿条、第一Y型齿条和第二Y型齿条，所述第一Y型齿条和所述第二Y型齿条均设置在所述第一V型齿条和所述第二V型齿条之间； 所述晶圆的边缘接触所述第一V型齿条的齿槽和所述第二V型齿条的齿槽时，所述晶圆的边缘悬空在所述第一Y型齿条的齿槽和所述第二Y型齿条的齿槽内。
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