洛阳鸿泰半导体有限公司姚剑龙获国家专利权
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龙图腾网获悉洛阳鸿泰半导体有限公司申请的专利一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038899U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421673458.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼是由姚剑龙;宋亚峰;张燕设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼在说明书摘要公布了：本实用新型关于一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼，包括支撑架，该支撑架包括相对布置的两个支架，其中一个支架外侧转动设置有主动大齿轮和围绕该大齿轮设置的5个从动小齿轮；两支架之间还转动设有两个表面光管的支撑圆棒；两支架之间还转动设有三个限位圆棒，限位圆棒上均布凹槽；上述限位圆棒和支撑圆棒分别与一个小齿轮连接，且与支撑圆棒连接的两个小齿轮位于大齿轮下方，与限位圆棒连接的三个小齿轮沿大齿轮外周均布，且其中一个位于大齿轮正上方；两支架上均设有弧形轨道，与位于大齿轮正上方的小齿轮连接的限位圆棒两端位于弧形轨道内，且能够通过限位件保持在对硅片顶部限位的第一位置或使硅片能够自由取放的第二位置。
本实用新型一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼在权利要求书中公布了：1.一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼，其特征在于：包括支撑架，该支撑架包括相对布置的第一支架和第二支架，所述第一支架外侧转动设置有主动大齿轮和围绕该大齿轮设置的5个从动小齿轮；第一支架和第二支架之间还转动设有两个表面光管的支撑圆棒，两支撑圆棒平行设置且两支撑圆棒轴线所在平面与第一支架垂直；第一支架和第二支架之间还转动设有三个限位圆棒，该限位圆棒上沿轴向均布有若干沿周向延伸的凹槽；上述限位圆棒和支撑圆棒分别与一个小齿轮连接，且与支撑圆棒连接的两个小齿轮位于大齿轮下方，与限位圆棒连接的三个小齿轮沿大齿轮外周均布，且其中一个位于大齿轮正上方；第一支架和第二支架上均设有弧形轨道，与位于大齿轮正上方的小齿轮连接的限位圆棒两端位于该弧形轨道内，且能够通过可拆卸装入该弧形轨道内的限位件保持在对硅片顶部限位的第一位置或使硅片能够自由取放的第二位置。
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