株洲三一硅能技术有限公司安乐获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲三一硅能技术有限公司申请的专利载板回传装置及太阳能电池生产系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223033443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421650756.6,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型载板回传装置及太阳能电池生产系统是由安乐;李琦;闫宁宁设计研发完成,并于2024-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本载板回传装置及太阳能电池生产系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种载板回传装置及太阳能电池生产系统,载板回传装置设置于PVD设备腔体的支腿上,包括传动组件,具有一对,且相对设置,且所述传动组件对应设置于所述支腿相对的一侧;载板放置于所述传动组件上,且所述载板能随所述传动组件的传动而移动。本实用新型提供的载板回传装置,载板回传装置设置为分体式结构并固定在支腿上,以主设备传动位置为基准,定位精度由机加保证,可以做到和主设备传动一致的平稳性,远满足于回传装置的要求,无需在狭小的腔体内再做调试,大大提高了设备的装调效率,同时也提升了传动组件和载板的使用寿命;而且,区别于一体式回传机构,一对传动组件中间无需结构件连接,结构也更为紧凑。
本实用新型载板回传装置及太阳能电池生产系统在权利要求书中公布了:1.一种载板回传装置,用于PVD设备,所述PVD设备具有腔体10,所述腔体10的底部具有一对支腿20,其特征在于,包括: 传动组件1,具有一对,且相对设置,且所述传动组件1对应设置于所述支腿20相对的一侧; 载板30,放置于所述传动组件1上,且所述载板30能随所述传动组件1的传动而移动; 其中,所述传动组件1包括: 安装板11,可拆卸设置于所述腔体10的支腿20内侧; 驱动机构12,设置于所述安装板11上; 传动带13,与所述驱动机构12传动连接; 多个传动轮14,随所述传动带13的运动而转动;且所述传动轮14的顶部承载所述载板30。
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