武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司吉守卫获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司申请的专利一种晶圆缺陷检测平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223037755U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421333579.9，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种晶圆缺陷检测平台是由吉守卫;欧昌东设计研发完成，并于2024-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆缺陷检测平台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆缺陷检测平台，属于晶圆检测设备技术领域，包括安装载台，安装载台上设有晶圆吸附载台，二者之间设有第一驱动组件；安装载台上还设有龙门架，龙门架上设有检测组件，龙门架与检测组件之间设有第二驱动组件；安装载台的四个边角处均设有支撑柱，且各支撑柱与安装载台之间均设有气浮组件，各气浮组件的气压分别可调。本申请中的晶圆缺陷检测平台通过第一驱动组件和第二驱动组件完成了晶圆吸附载台相对于检测组件在三维空间内的移动和转动，便于晶圆全方位检测；并在支撑柱与安装载台之间设置气浮组件，以避免外部环境振动传递至安装载台，确保晶圆检测的准确性和稳定性，提高该晶圆缺陷检测平台的整体检测精度。
本实用新型一种晶圆缺陷检测平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测平台，其特征在于，包括： 安装载台，所述安装载台上设有晶圆吸附载台，所述晶圆吸附载台与所述安装载台之间设有第一驱动组件，所述第一驱动组件用于带动所述安装载台在水平面内移动和旋转； 所述安装载台上还设有龙门架，所述龙门架上设有检测组件，所述检测组件与所述龙门架之间设有第二驱动组件，所述第二驱动组件用于带动所述检测组件沿竖向升降； 所述安装载台的四个边角处均设有支撑柱，各所述支撑柱与所述安装载台之间均设有气浮组件，且各所述气浮组件的气压分别可调。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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