台湾积体电路制造股份有限公司吕建兴获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利激光生成等离子体极紫外光源获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223040209U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421336786.X，技术领域涉及：H05G2/00；该实用新型激光生成等离子体极紫外光源是由吕建兴;涂志强;蔡飞国;温志伟;曾信富;徐子正设计研发完成，并于2024-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光生成等离子体极紫外光源在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种激光生成等离子体极紫外光源，包括：真空腔室；可旋转坩埚，设置在真空腔室中，具有环形内表面用以承载液态金属；以及激光，布置成将激光光线施加到承载在可旋转坩埚的环形内表面上的液态金属，以使液态金属发射极紫外光。激光生成等离子体极紫外光源还包括：静止组件，设置在真空腔室中，并位于可旋转坩埚的环形内表面附近或围绕可旋转坩埚；冷却液输送入口或喷嘴；以及冷却元件，固定于静止组件，并包括用以可操作地与由冷却液输送入口或喷嘴输送的冷却液耦合的特征。
本实用新型激光生成等离子体极紫外光源在权利要求书中公布了：1.一种激光生成等离子体极紫外光源，其特征在于，包括： 真空腔室； 可旋转坩埚，设置在所述真空腔室内，并具有用以承载液态金属的环形内表面； 激光，布置成将激光光线施加到所述可旋转坩埚的所述环形内表面上所承载的所述液态金属，以使所述液态金属发射极紫外光； 静止组件，设置在所述真空腔室内并且位于所述可旋转坩埚的所述环形内表面附近或围绕所述可旋转坩埚； 冷却液输送入口或喷嘴；以及 冷却元件，固定于所述静止组件并包括用以可操作地与由所述冷却液输送入口或喷嘴输送的冷却液耦合的特征。
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