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龙图腾网获悉新磊半导体科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种半导体测试数据的处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116047254B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310097099.0，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种半导体测试数据的处理方法是由郭帅;冯巍;李维刚;杜全钢设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体测试数据的处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体测试数据的处理方法，涉及数据处理技术领域。该方法包括：获取半导体测试数据；选择器件目标测试数据及外延片目标测试数据；由外延片测试数据与器件目标测试数据构建测试数据矩阵；对矩阵进行第一矩阵变换和第二矩阵变换；提取子矩阵，对列向量进行线性拟合以获得对应关系，将该对应关系作为器件目标测试数据与外延片目标测试数据之间的对应关系。通过构建测试数据矩阵并进行矩阵变换，然后提取子矩阵并对子矩阵的两个列向量进行线性拟合，从而获得了器件目标测试数据与外延片目标测试数据之间的对应关系，解决了建立器件测试参数与外延测试参数之间对应关系的问题，有助于实现利用器件测试参数来优化控制外延工艺。

本发明授权一种半导体测试数据的处理方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体测试数据的处理方法，其特征在于，所述半导体测试数据包括批量生产的同一结构的半导体外延晶片的测试数据以及利用所述半导体外延晶片制备的半导体器件的测试数据，所述半导体外延晶片的测试数据的种类数目为m，m为大于或等于2的整数，所述半导体器件的测试数据的种类数目为s，s为大于或等于1的整数，所述处理方法用于获取器件目标测试数据与外延片目标测试数据之间的对应关系，所述器件目标测试数据为从所述半导体器件的测试数据中选择的一类测试数据；所述外延片目标测试数据为从所述半导体外延晶片的测试数据中选择的一类测试数据，所述方法包括： 获取所述半导体测试数据； 从所述半导体器件的s类测试数据中选择一类测试数据作为器件目标测试数据，从所述半导体外延晶片的m类测试数据中选择一类测试数据作为外延片目标测试数据； 由所述半导体外延晶片的m类测试数据与所述器件目标测试数据来构建测试数据矩阵T， 其中wij表示批量生产的第i个半导体外延晶片的第j类测试数据，i＝1,2,3,...,n，j＝1,2,3,...,m，qi表示第i个半导体外延晶片对应的半导体器件的器件目标测试数据，并且将所选择的外延片目标测试数据作为第m类测试数据，n表示半导体外延晶片的片数，并且n100·m； 对所述测试数据矩阵T进行第一矩阵变换，以形成数据矩阵T'， 所述第一矩阵变换表示数据矩阵T'中的任一行的元素值由测试数据矩阵T中对应行的元素值减去测试数据矩阵T中除了该对应行之外的另一行元素值获得； 对所述数据矩阵T'进行第二矩阵变换，以形成数据矩阵T”， 所述第二矩阵变换表示对T'进行初等行变换，以使得数据矩阵T”中满足如下条件的元素w”kt均等于0：km并且tk；以及k≥m并且tm； 从数据矩阵T”中提取子矩阵t， 对列向量t2和列向量t1进行线性拟合，从而获得t2与t1之间的对应关系，并且将该对应关系作为器件目标测试数据与外延片目标测试数据之间的对应关系，其中列向量t1表示由子矩阵t的第一列的全部元素构成的列向量，列向量t2表示由子矩阵t的第二列的全部元素构成的列向量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新磊半导体科技(苏州)股份有限公司，其通讯地址为：215151 江苏省苏州市高新区建林路666号出口加工区配套工业园28号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。