广东小天才科技有限公司徐向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉广东小天才科技有限公司申请的专利光罩制作精度评估方法、光罩制作方法、光罩及AG盖板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118426256B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310078567.X,技术领域涉及:G03F1/84;该发明授权光罩制作精度评估方法、光罩制作方法、光罩及AG盖板是由徐向阳;王越超设计研发完成,并于2023-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩制作精度评估方法、光罩制作方法、光罩及AG盖板在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光罩制作精度评估方法、光罩制作方法、光罩及AG盖板,涉及光罩制作的技术领域。所述评估方法包括以下步骤:提供用于在光罩上形成通孔的预设图形;提供加工精度;根据所述加工精度仿真得出形成所述通孔时实际图形的面积;将所述预设图形的面积与所述实际图形的面积作差,并取绝对值;将所述绝对值除以所述预设图形的面积,得到实际失真度;根据所述实际失真度评估所述光罩的制作精度。本发明解决了光罩的制作过程中存在不能够很好地匹配加工精度的技术问题。
本发明授权光罩制作精度评估方法、光罩制作方法、光罩及AG盖板在权利要求书中公布了:1.一种光罩制作精度评估方法,其特征在于,所述评估方法包括以下步骤: 提供用于在光罩上形成通孔的预设图形; 提供加工精度; 根据所述加工精度仿真得出形成所述通孔时实际图形的面积; 将所述预设图形的面积与所述实际图形的面积作差,并取绝对值; 将所述绝对值除以所述预设图形的面积,得到实际失真度; 根据所述实际失真度评估所述光罩的制作精度; 所述根据所述加工精度仿真得出形成所述通孔时的实际图形包括以下步骤: 根据所述加工精度绘制出加工微图形; 将若干所述加工微图形充分填充于所述预设图形内,形成实际图形; 读出所述预设图形内所述加工微图形的个数,以得知所述实际图形的面积; 所述读出所述预设图形内所述加工微图形的个数包括以下步骤: 将未完全位于所述预设图形内的所述加工微图形进行面积分割,以得到位于所述预设图形内的圈内面积; 将所述圈内面积与所述加工微图形的面积作比,得到实际面积比; 设定面积比最低值; 对比所述实际面积比与所述面积比最低值,以判定未完全位于所述预设图形内的所述加工微图形的有效性; 所述对比所述实际面积比与所述面积比最低值,以判定未完全位于所述预设图形内的所述加工微图形的有效性包括:实际面积比高于面积比最低值的加工微图形为有效的,反之则无效。
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