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龙图腾网获悉思恩半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种全自动硅片清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116190265B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310030723.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种全自动硅片清洗机是由蔡永礼;王文和;叶曲波设计研发完成，并于2023-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全自动硅片清洗机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种全自动硅片清洗机，涉及硅片清洗技术领域。硅片清洗机包括清洗箱、水箱、连接管以及出水管，清洗箱的上端外表面开设有开口，且清洗箱的第一侧外表面设置有水箱；本发明通过设置清洗机构，水箱中的清洗剂在水泵的作用下依次通过连接管、导流管进入连接筒的内部，并通过连接孔排出，对清洗棉进行冲击，使清洗棉保持湿润状态，提高清洗棉的清洗力度，并且清洗剂通过清洗棉的内部向外冲击，能够对清洗棉表面污染物进行一定程度的冲洗，降低污染物附着其表面的几率，同时，相较于直接利用清洗剂进行冲洗，不会在硅片表面形成冲洗痕迹，避免二次处理。

本发明授权一种全自动硅片清洗机在权利要求书中公布了：1.一种全自动硅片清洗机，包括清洗箱（1）、水箱（2）、连接管（3）以及出水管（4），所述清洗箱（1）的上端外表面开设有开口，且清洗箱（1）的第一侧外表面设置有水箱（2），所述水箱（2）的上端外表面固定连接有连接管（3），且清洗箱（1）的第一侧外表面靠近底端的固定连通有出水管（4），其特征在于，所述水箱（2）的内部设置有水泵，且连接管（3）的一端贯穿至水箱（2）的内部与水泵的输出端固定连通，连接管（3）的另一端贯穿至清洗箱（1）的内部，所述清洗箱（1）的内部与连接管（3）对应的位置设置有清洗机构（5）； 所述清洗机构（5）包括电机一（501）、连接柱、连接筒以及导流管（504）；所述清洗箱（1）远离连接管（3）的第二侧外表面设置有电机一（501），且电机一（501）的输出端贯穿至清洗箱（1）的内部并固定连接有连接柱，所述电机一（501）的输出端与清洗箱（1）转动连接，且连接柱的一端与电机一（501）的输出端固定连接，连接柱的另一端固定连接有连接筒，所述连接筒远离连接柱的一端外表面固定连接有导流管（504），所述连接筒的外表面等距离设置有若干组固定组件（6）； 所述固定组件（6）包括固定板（601）、槽孔（602）、连接轴一（603）、连接轴二（604）、连接辊（605）以及弧形板（606）；所述固定板（601）的一端与连接筒固定连接，且固定板（601）呈U型，所述固定板（601）内表面的两侧均开设有槽孔（602），且槽孔（602）的内表面的两端分别等距离设置有若干组连接轴一（603）与连接轴二（604），所述连接轴一（603）与连接轴二（604）一一对应，且连接轴一（603）与连接轴二（604）的一端与槽孔（602）固定连接，连接轴一（603）与连接轴二（604）的另一端固定连接有连接辊（605），两组相对应的连接辊（605）之间固定连接有两组弧形板（606），两组所述固定板（601）之间固定连接有清洗棉（607），所述导流管（504）的内表面与连接筒的内表面相通，且连接轴一（603）的一端外表面开设有连接孔（608），所述连接孔（608）的内表面与连接筒的内表面相通，所述清洗箱（1）的内部设置有传送组件（7），且传送组件（7）位于连接筒的侧下方的位置； 所述传送组件（7）包括电机二（710）、转动轴（702）、转动筒（703）、夹持板（704）、活动孔（705）以及弹性膜（706）；所述清洗箱（1）的两侧外表面靠近底端的位置均开设有安装孔（701），且安装孔（701）内表面的两侧靠近中部的位置均转动连接有转动轴（702），两组对应的转动轴（702）之间固定连接有转动筒（703），所述转动筒（703）的外表面等距离固定连接有若干组夹持板（704），且夹持板（704）两两对应，所述夹持板（704）为镂空状，且夹持板（704）位于固定板（601）的侧下方并与其相对应。

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