上海拜安传感技术有限公司龙亮获国家专利权
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龙图腾网获悉上海拜安传感技术有限公司申请的专利光纤湿度传感器及形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115684089B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211328466.5,技术领域涉及:G01N21/45;该发明授权光纤湿度传感器及形成方法是由龙亮;郭智慧;钟少龙;郭凉杰设计研发完成,并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本光纤湿度传感器及形成方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种光纤湿度传感器及形成方法,包括:湿敏薄膜,用于吸收水分;第一支撑结构,湿敏薄膜位于第一支撑结构的第一面;应变梁,与第一支撑结构连接,应变梁受力能产生形变;第一高反膜,位于第一支撑结构的第二面;第二高反膜,与第一高反膜相对且对准第一高反膜,第一高反膜和第二高反膜之间形成FP腔体,并且第一高反膜和第二高反膜之间的距离为FP腔体的腔长。在本发明中,湿敏薄膜吸收了水分以后内部应力发生变化导致第一支撑结构发生形变,从而改变FP腔体的腔长,导致FP腔输出的干涉光的波长发生改变,通过读取FP腔输出的干涉光的波长可以准确地得知环境湿度。本发明可以在任何恶劣环境下使用,并且提高了测量精度。
本发明授权光纤湿度传感器及形成方法在权利要求书中公布了:1.一种光纤湿度传感器,其特征在于,包括: 湿敏薄膜,用于吸收大气中的水分; 第一支撑结构,包括相对的第一面和第二面,所述湿敏薄膜位于所述第一支撑结构的第一面; 应变梁,与所述第一支撑结构连接,所述应变梁受力能产生形变; 第一高反膜,位于所述第一支撑结构的第二面; 第二高反膜,与所述第一高反膜相对并且对准所述第一高反膜,所述第一高反膜和所述第二高反膜之间形成FP腔体,并且所述第一高反膜和所述第二高反膜之间的距离为FP腔体的腔长; 第二支撑结构,包括相对的第一面和第二面,所述第二高反膜位于所述第二支撑结构的第一面; 框架,用于支撑所述应变梁,所述框架位于所述应变梁和所述第二支撑结构之间,所述框架一端与所述应变梁连接,另一端与所述第二支撑结构连接;以及 所述应变梁为弯曲的条形形状,所述应变梁的横截面的形状为S型,一端连接所述第一支撑结构,另一端连接所述框架。
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