买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海微松工业自动化有限公司申请的专利一种植球装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472535B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211129075.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种植球装置是由刘泽洋;张杰;杨帆设计研发完成，并于2022-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种植球装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种植球装置，涉及植球技术领域，其包括植球网板，设有与晶圆PAD点对应的网孔，用于让锡球落入晶圆上；供球组件，用于定量供应锡球至植球网板上；植球组件，用于使锡球从植球网板植入到晶圆上；所述供球组件包括料盒和驱动料盒沿X方向转动的驱动件，所述料盒内设有填料腔、与填料腔连通的输料道，所述填料腔和输料道的连通处形成有进料口，初始状态下，所述填料腔内的锡球从进料口进入输料道内，当驱动件驱动料盒转动进入供球状态，所述进料口位于填料腔和输料道的上方，锡球从所述输料道落入植球网板上。本申请实现了锡球的自动、定量供应。

本发明授权一种植球装置在权利要求书中公布了：1.一种植球装置，其特征在于：包括 植球网板2，设有与晶圆PAD点对应的网孔，用于让锡球落入晶圆上； 供球组件3，用于定量供应锡球至植球网板2上； 植球组件4，用于使锡球从植球网板2植入到晶圆上； 所述供球组件3包括料盒31和驱动料盒31沿X方向转动的驱动件，所述料盒31内设有填料腔7、与填料腔7连通的输料道8，所述填料腔7和输料道8的连通处形成有进料口9，初始状态下，所述填料腔7内的锡球从进料口9进入输料道8内，当驱动件驱动料盒31转动进入供球状态，所述进料口9位于填料腔7和输料道8的上方，锡球从所述输料道8落入植球网板2上； 所述输料道8由定量存料腔81和出料腔82组成，所述进料口9形成于定量存料腔81和填料腔7之间，所述出料腔82位于定量存料腔81远离进料口9的一端，所述定量存料腔81沿远离进料口9的方向呈倾斜向下设置，所述出料腔82沿远离定量存料腔81的方向呈倾斜向上设置，所述填料腔7位于定量存料腔81的上方； 包括基台1，所述植球网板2设置在基台1的中部，所述基台1位于植球网板2的一侧滑移连接有安装座5，所述料盒31转动连接在安装座5上，所述驱动件设置在安装座5上，所述基台1上设置有用于驱动安装座5往复滑移的驱动组件6，所述安装座5的滑移方向与料盒31的转动轴线方向平行；所述驱动组件6包括皮带轮组件61和驱使皮带轮组件61运动的伺服电机62，所述安装座5固设在皮带轮组件61的皮带上； 所述驱动件设置为固设在安装座5上的驱动气缸32，所述驱动气缸32活塞杆的伸缩方向呈水平且与安装座5的滑移方向垂直，所述驱动气缸32的活塞杆端部固设置有联动板10，所述料盒31的侧壁上设有联动块312，所述联动块312位于料盒31转动连接处远离植球网板2的一侧，所述联动板10上沿竖直方向开设有滑移槽101，所述联动块312滑移在滑移槽101内；所述安装座5位于远离料盒31转动连接处的一侧设有缓冲器51，所述缓冲器51与料盒31的底部抵接并使料盒31具有向植球网板2一侧翻转的趋势。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微松工业自动化有限公司，其通讯地址为：201100 上海市闵行区万芳路333号5幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。