捷成微系统(惠州)股份有限公司张宇丞获国家专利权
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龙图腾网获悉捷成微系统(惠州)股份有限公司申请的专利电镀槽体喷流装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115233277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210978338.9,技术领域涉及:C25D17/00;该发明授权电镀槽体喷流装置是由张宇丞;高长风设计研发完成,并于2022-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本电镀槽体喷流装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种电镀槽体喷流装置,包括:主体结构、电镀组件以及电镀液喷流搅拌机构。其中,主体结构包括电镀槽体,电镀槽体用于装载制程所需电镀液,电镀槽体内部通过隔板分隔形成电镀液回流槽以及电镀槽;电镀组件安装在电镀槽内;电镀液喷流搅拌机构共同安装在电镀槽以及电镀组件上,电镀液喷流搅拌机构用于将电镀液喷射于晶圆上。本发明提供的电镀槽体喷流装置,设置的电镀液喷流搅拌机构具有旋转搅拌以及喷流功能,其能将电镀液喷进一般浸泡及涌流电镀方式所达不到的细小电路里,还能将缝隙里的微小气泡喷出,避免肉眼不可见的气泡造成电镀不均,提高产品良率,更能增进产品效能,使更细的金线电路制造成为可能。
本发明授权电镀槽体喷流装置在权利要求书中公布了:1.一种电镀槽体喷流装置,其特征在于,包括: 主体结构1,其包括电镀槽体11,所述电镀槽体11用于装载制程所需电镀液,所述电镀槽体11内部通过隔板14分隔形成电镀液回流槽13以及电镀槽12,所述电镀液回流槽13用于回收所述电镀槽12流出的电镀液,所述电镀槽12用于将电镀液电镀至晶圆4上; 电镀组件2,其安装在所述电镀槽12内,用于固定所述晶圆4; 电镀液喷流搅拌机构3,其共同安装在所述电镀槽12以及所述电镀组件2上,所述电镀液喷流搅拌机构3用于将电镀液喷射于所述晶圆4上; 所述电镀槽12的内部底部固定安装有水平设置的支撑板19,所述隔板14的底部与所述支撑板19的上部固定连接,且所述隔板14上靠近其底部均匀开设有若干通孔,所述电镀液回流槽13的槽口处安装有盖板15; 所述电镀组件2包括配装座21、圆柱形槽体22、环形压圈26、阴极23以及阳极25,所述配装座21固定安装在所述支撑板19上,所述圆柱形槽体22固定安装在所述配装座21的上部,且所述圆柱形槽体22的侧壁上开设有连接孔24,所述环形压圈26通过调节螺栓27安装在所述圆柱形槽体22的槽口上部,且所述环形压圈26用于将所述晶圆4固定在所述圆柱形槽体22的槽口处,所述阴极23设置在所述圆柱形槽体22的外周,且所述阴极23的底端伸入所述圆柱形槽体22的内部底部,所述阳极25固定安装在所述环形压圈26上; 所述电镀液喷流搅拌机构3包括减速电机34、传动杆36、伞齿轮37、环形轨35、环形齿轨38、中空连接杆31、喷流管32以及两个喷头33,所述减速电机34固定安装在所述电镀槽体11的外侧壁上,所述传动杆36密封且转动地安装在所述圆柱形槽体22的侧壁上,且所述传动杆36的一端与所述减速电机34的输出轴固定连接,所述伞齿轮37固定安装在所述传动杆36的另一端端部,且所述伞齿轮37位于所述圆柱形槽体22的内部,所述环形轨35密封且转动地安装在所述圆柱形槽体22的内侧壁上,且所述环形轨35的外环面上设有环形流道39,所述环形流道39与所述连接孔24相连通,所述环形齿轨38固定安装在所述环形轨35的底部,且所述环形齿轨38上的齿牙与所述伞齿轮37相互啮合,所述中空连接杆31固定安装在所述环形轨35的内环面上,且所述中空连接杆31的内部与所述环形流道39相连通,所述喷流管32通过中空转轴转动安装在所述中空连接杆31上,且所述喷流管32水平设置,两个所述喷头33均固定安装在所述喷流管32的上部,两个所述喷头33均依次通过所述喷流管32、所述中空转轴以及所述中空连接杆31与所述环形流道39相连通。
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