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汕头大学余云鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉汕头大学申请的专利一种用于CELIV测量的瞬态电流修正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115598404B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210927148.4,技术领域涉及:G01R19/25;该发明授权一种用于CELIV测量的瞬态电流修正方法是由余云鹏;邱桂明;林南;蔡铭章设计研发完成,并于2022-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于CELIV测量的瞬态电流修正方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于CELIV测量的瞬态电流修正方法,包括以下步骤:使用波形信号发生器与采样电阻、标准电阻、数字存储示波器构成电流采样电路;所述数字存储示波器记录所述采样电阻上的电压随时间变化曲线,对所述电压随时间变化曲线进行非线性拟合,得到采样电阻和示波器输入电阻的并联值R及与取样电阻并联的电容,将所述标准电阻替换成二级管结构样品,再次由数字示波器测得线性偏电下取样电阻上的电压随时间变化曲线,计算通过样品的电流随时间变化曲线,修正为该线性电压下的CELIV瞬态电流曲线,获得峰值对应的时间。采用本发明,修正了采样电阻压降及测量电路RC参数的影响,得到正常的瞬态电流曲线,从而可以根据电流峰值时间和半导体厚度以确定电场漂移迁移率。

本发明授权一种用于CELIV测量的瞬态电流修正方法在权利要求书中公布了:1.一种用于CELIV测量的瞬态电流修正方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:使用波形信号发生器与采样电阻、标准电阻、数字存储示波器构成电流采样电路; S2:使所述波形信号发生器输出斜率为A的线性增加电压,所述数字存储示波器记录所述采样电阻上的电压随时间变化曲线V 1 ~t; S3:对所述电压随时间变化曲线V 1 ~t进行非线性拟合,得到采样电阻和示波器输入电阻的并联值R及与取样电阻并联的电容C; S4:将所述标准电阻替换成肖特基二极管结构样品,再次由数字示波器测得线性反偏电压下取样电阻上的电压随时间变化曲线V1~t,计算出各个时刻的变化率dV 1 dt; S5:所述波形信号发生器输出阶梯直流电压,由所述数字存储示波器读取的采样电阻电压结合牛顿插值法得出不同反偏电压下样品的漏电流I L ; S6:计算通过样品的电流随时间变化曲线It,由下式修正为该线性电压下的CELIV瞬态电流曲线I R t,获得峰值对应的时间t m , 其中,右边第二项为修正项,dV 1 dt是示波器读数V 1 的时间变化率;d和S各代表半导体层的厚度和横截面积; 并通过下式获得半导体迁移率的测量结果: 。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人汕头大学,其通讯地址为:515063 广东省汕头市大学路汕头大学;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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