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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第五十五研究所申请的专利一种多色Micro-LED显示器件的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332285B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210874309.8，技术领域涉及：H10H29/03；该发明授权一种多色Micro-LED显示器件的制作方法是由李晓剑;杨洪宝设计研发完成，并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多色Micro-LED显示器件的制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种多色Micro‑LED显示器件的制作方法，属于基本电气元件的技术领域。本发明方法通过重复地对未图案化的不同颜色LED外延片进行晶圆级键合来制造Micro‑LED显示器件。由于LED外延片在键合前未被图形化为Micro‑LED阵列，因此工艺中对于对准的要求显著放宽。在Micro‑LED显示器件中，Micro‑LED阵列需要与包含基础衬底的驱动芯片集成。在该过程中，多种颜色LED阵列按如下方式制造：未图案化的LED外延片被键合在驱动芯片的表面上，之后去除LED的衬底并进行平坦化操作以允许下一层未图案化的LED外延片被键合，以此方法完成三层LED外延层的堆叠后，采用刻蚀的方法将三种不同颜色的LED外延层图形化成Micro‑LED阵列，再制作金属层完成电极连接。该方法可以提高Micro‑LED显示器件的制作效率。

本发明授权一种多色Micro-LED显示器件的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种多色Micro-LED显示器件的制作方法，其特征在于， 在第一种颜色LED外延片的上表面以及驱动芯片的上表面制作第一层键合金属，进行第一次晶圆级键合，对第一次晶圆级键合得到的键合片进行去除第一种颜色LED外延片衬底及缓冲层的处理，形成键合有第一种颜色LED外延层的第一键合片； 在所述第一键合片的上表面以及第二种颜色LED外延片的上表面制作第二层键合金属，进行第二次晶圆级键合，对第二次晶圆级键合得到的键合片进行去除第二种颜色LED外延片衬底及缓冲层的处理，形成键合有第二种颜色LED外延层、第一种颜色LED外延层的第二键合片； 在所述第二键合片的上表面以及第三种颜色LED外延片的上表面制作第三层键合金属，进行第三次晶圆级键合，对第三次晶圆级键合得到的键合片进行去除第三种LED外延片及缓冲层的处理，形成键合有第三种颜色LED外延层、第二种颜色LED外延层、第一种颜色LED外延层的第三键合片； 图形化第三键合片的第三种颜色LED外延层，形成包含至少一颗第三种颜色LED的第三种颜色LED图形化阵列； 图形化第三层键合金属，形成第三层键合金属图形化阵列，所述第三层键合金属图形化阵列包含至少一个位于第三种颜色LED下方的单个第三层键合金属构造，第三种颜色LED的垂直投影尺寸小于其下方单个第三层键合金属构造的垂直投影尺寸； 图形化所述第三层键合金属图形化阵列与第二层键合金属之间的第二种颜色LED外延层，形成包含至少一颗第二种颜色LED的第二种颜色LED图形化阵列，位于单个第三层键合金属构造下方的第二种颜色LED的垂直投影尺寸大于该单个第三层键合金属构造的垂直投影尺寸； 图形化第二层键合金属，形成第二层键合金属图形化阵列，所述第二层键合金属图形化阵列包含至少一个位于第二种颜色LED下方的单个第二层键合金属构造，第二种颜色LED的垂直投影尺寸小于其下方单个第二层键合金属构造的垂直投影尺寸； 图形化所述第二层键合金属图形化阵列与第一层键合金属之间的第一种颜色LED外延层，形成包含至少一颗第一种颜色LED的第一种颜色LED图形化阵列，位于单个第二层键合金属构造下方的第一种颜色LED的垂直投影尺寸大于该单个第二层键合金属构造的垂直投影尺寸； 图形化第一层键合金属，形成第一层键合金属图形化阵列，所述第一层键合金属图形化阵列包含至少一个位于第一种颜色LED下方的单个第一层键合金属构造，第一种颜色LED的垂直投影尺寸小于其下方单个第一层键合金属构造的垂直投影尺寸； 制作连接第三种颜色LED下方单个第三层键合金属构造和单个第一层键合金属构造的阳极互联电极，制作连接第二种颜色LED下方单个第二层金属构造和单个第一层金属构造的阳极互联电极； 制作第三种颜色LED图形化阵列、第二种颜色LED图形化阵列、第一种颜色LED图形化阵列的共阴电极。

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