华芯智能(珠海)科技有限公司张晋雷获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯智能(珠海)科技有限公司申请的专利悬空打线工艺及工装获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114715841B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210397882.4,技术领域涉及:B81C1/00;该发明授权悬空打线工艺及工装是由张晋雷设计研发完成,并于2022-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本悬空打线工艺及工装在说明书摘要公布了:本发明提供悬空打线工艺,包括通过悬空打线工装将MEMS芯片固定于管壳中,对MEMS芯片进行打线,使得MEMS芯片通过金属线与管壳连接;完成打线后将悬空打线工装移走,MEMS芯片通过金属线与管壳连接且MEMS芯片底部与管壳留有间隙呈悬空状;采用粘度值为14500cp的胶水于MEMS芯片与金属线连接所在表面进行涂覆形成防护层,满足固化条件对防护层进行固化,涂覆厚度覆盖MEMS芯片与金属线连接处的焊点。本发明实现了杨氏模量为零的悬空打线过程,避免外部应力变化对MEMS芯片内部结构产生的消极影响,确保了MEMS芯片全温环境下的参数稳定。
本发明授权悬空打线工艺及工装在权利要求书中公布了:1.悬空打线工艺,其特征在于,包括以下步骤: 第一步,通过悬空打线工装将MEMS芯片6固定于管壳11中,对所述MEMS芯片6进行打线,使得所述MEMS芯片6通过金属线与管壳11连接; 第二步,完成打线后将悬空打线工装移走,MEMS芯片6通过金属线与管壳11连接且MEMS芯片6底部与管壳11留有间隙呈悬空状; 第三步,采用粘度值为14500cp的胶水于所述MEMS芯片6与金属线连接所在表面进行涂覆形成防护层,然后满足固化条件对防护层进行固化,涂覆厚度覆盖所述MEMS芯片6与金属线连接处的焊点; 所述第三步的固化条件为150℃的温度环境,固化1小时; 所述悬空打线工装包括工装基板1,所述工装基板1具有环形缺口2,所述环形缺口2对称开设有一字槽3,所述一字槽3容置有压紧块4,所述压紧块4穿设所述环形缺口2,所述一字槽3旁侧均设有缓冲机构5,所述缓冲机构5带动所述压紧块4相对于所述工装基板1竖直方向移动,以使所述压紧块4抵住MEMS芯片6,所述环形缺口2布置于所述工装基板1的中部。
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