湘潭大学尹路获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭大学申请的专利一种交替生长的铁电薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114420544B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210010418.5，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种交替生长的铁电薄膜的制备方法是由尹路;卢彬彬;周益春;廖敏;李欣雨设计研发完成，并于2022-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种交替生长的铁电薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种交替生长的铁电薄膜的制备方法，属于铁电薄膜技术领域。本发明的制备方法包括：称量预设比例的有机铪盐、多掺杂元素的有机金属盐置于容器中，再依次加入一元酸和有机溶剂；加热搅拌至澄清后持续搅拌至室温，获得不同溶液浓度、不同掺杂元素、不同掺杂量等多种前驱体溶液；将两种或多种前驱体溶液以交替的方式滴加至铂衬底上进行旋涂处理；执行退火操作获得交替生长的多元素掺杂Hf0.5Zr0.5O2HZO铁电薄膜。采用化学溶液沉积方法，能够在不使用大型设备的情况下制备出交替生长的多元素掺杂HZO铁电薄膜，制备工艺简单、设备成本低、易于规模化生产。
本发明授权一种交替生长的铁电薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种交替生长的铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1）将前驱体溶液A涂覆到铂衬底上后退火处理得到退火后的A薄膜样品； 2）将前驱体溶液B涂覆到退火后的A薄膜样品上，退火处理后得到退火后的AB薄膜样品； 所述前驱体溶液A和前驱体溶液B独立的包含有机铪盐、多掺杂元素的有机金属盐、一元酸和有机溶剂； 所述前驱体溶液A和前驱体溶液B中的多掺杂元素的有机金属盐不同； 3）以步骤1）和步骤2）为一个单元，重复n-1次，得到含有ABn薄膜的样品，对含有ABn薄膜的样品进行退火处理即得到交替生长的铁电薄膜； 所述n≥2； 所述掺杂元素包含Zr，所述掺杂元素还包含Ba、Al、Gd、La、Sr、Y、Ce和Ca中的一种； 所述多掺杂元素的有机金属盐包含乙酰丙酮锆，所述多掺杂元素的有机金属盐还包含乙酰丙酮钡、乙酰丙酮铝、乙酰丙酮钆、乙酰丙酮锶、乙酰丙酮铈、乙酰丙酮钙、乙酰丙酮镧和乙酰丙酮钇中的一种； 所述乙酰丙酮锆占多掺杂元素的有机金属盐总质量的97~98%。
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