细美事有限公司金铉玟获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的设备和用于处理基板的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695192B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111628154.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的设备和用于处理基板的方法是由金铉玟;安迎曙设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的设备和用于处理基板的方法在说明书摘要公布了：提供了一种用于处理基板的设备。在示例性实施例中，用于处理所述基板的所述设备包括：处理室，其配置成在其中具有处理空间；支撑构件，其位于所述处理空间中以支撑所述基板；以及气体供应单元，其配置成向所述处理空间供应表面改性气体，其中所述气体供应单元包括：起泡器罐，其设置有用于储存液态炔基化学品的容纳空间并且配置成通过向所述容纳空间供应惰性气体来使所述炔基化学品起泡以产生所述表面改性气体；加热器，其配置成在第一温度下加热储存在所述起泡器罐中的所述炔基化学品；以及气体供应管线，其联接于所述处理室和所述起泡器罐之间以向所述处理空间供应所述表面改性气体并且设置有第一阀。
本发明授权用于处理基板的设备和用于处理基板的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，包括： 处理室，所述处理室配置成在其中具有处理空间； 支撑构件，所述支撑构件位于所述处理空间中以支撑所述基板；以及 气体供应单元，所述气体供应单元配置成向所述处理空间供应表面改性气体， 其中所述气体供应单元包括： 起泡器罐，所述起泡器罐设置有用于储存液态炔基化学品的容纳空间，并且配置成通过向所述容纳空间供应惰性气体来使所述炔基化学品起泡，以产生所述表面改性气体； 加热器，所述加热器配置成在第一温度下加热储存在所述起泡器罐中的所述炔基化学品；以及 气体供应管线，所述气体供应管线联接于所述处理室与所述起泡器罐之间以向所述处理空间供应所述表面改性气体，并且所述气体供应管线设置有第一阀； 其中所述第一温度是所述炔基化学品即将达到沸点之前的温度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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