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龙图腾网恭喜大连连城数控机器股份有限公司申请的专利一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113437014B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110825467.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置是由朱凯;周江辉;唐学千;金明来;金敬武;徐杰;王永哲设计研发完成，并于2021-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，包括两个滑板导轨、硅棒承载装置、两个夹爪系统和夹爪系统驱动机构；所述夹爪系统包括滑板、夹爪导轨、两个夹爪和夹爪驱动机构，用于驱动两个所述夹爪沿所述夹爪导轨的延伸方向相向或相离运动。滑板导轨和夹爪导轨的延伸方向垂直设置，两个所述夹爪相对的面具有呈V型的夹口。本发明可以实现将不同直径规格的圆柱形晶圆毛坯棒料保持同一中心固定夹紧。且可根据不同长度硅棒，调节夹紧点跨距，保证晶圆毛坯中轴线水平。

本发明授权一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工设备用跨距可调节的定心夹紧装置，其特征在于，包括： 两个滑板导轨，两个所述滑板导轨平行设置，且延伸方向为前后延伸； 硅棒承载装置，位于两个所述滑板导轨之间，用于承载硅棒； 两个夹爪系统，两个所述夹爪系统的延伸方向为左右延伸，用于夹取所述硅棒承载装置所承载的所述硅棒；以及 夹爪系统驱动机构，用于驱动两个所述夹爪系统沿所述滑板导轨的延伸方向相向或相离运动； 所述夹爪系统包括： 滑板，其延伸方向为左右延伸，其底部通过滑板滑块与两个所述滑板导轨滑动连接； 夹爪导轨，位于所述滑板上，其延伸方向为左右延伸； 两个夹爪，两个所述夹爪的底部通过夹爪滑块与所述夹爪导轨滑动连接，两个所述夹爪相对的面具有呈V型的夹口； 呈V字形的所述夹口在其开口的里端具有竖直面；所述竖直面上安装有硅棒检测机构； 所述硅棒检测机构包括： 安装槽，加工在所述竖直面内，开口朝向所述夹口的开口外端延伸； 活塞，其外径与所述安装槽的内径相匹配，部分位于所述安装槽内，部分穿出所述安装槽的槽口； 活塞杆，左右延伸，一端穿过所述安装槽的槽底与所述活塞固定连接； 第三弹簧，位于所述安装槽内，且套设在所述活塞杆上，一端与所述活塞连接，另一端与所述安装槽的槽底连接，用于所述活塞杆复位； 触发开关，安装在所述夹爪不具有所述夹口的一侧，且靠近所述活塞杆的另一端；所述夹爪夹持所述硅棒后，所述活塞杆运动，所述活塞杆的另一端触发所述触发开关；以及夹爪驱动机构，位于所述滑板上，用于驱动两个所述夹爪沿所述夹爪导轨的延伸方向相向或相离运动； 所述夹爪驱动机构包括： 第二左右旋双螺母丝杠，其两个输出端分别与两个所述夹爪固定连接，其输入端为第二电机； 还包括：夹爪张开位置反馈机构； 所述夹爪张开位置反馈机构包括： 丝杠轴承座，固定在所述滑板的一端，且其靠近所述第二电机，所述第二左右旋双螺母丝杠的丝杆的一端部通过所述丝杠轴承座与所述滑板连接； 夹爪张开位置触发开关，其安装在所述丝杠轴承座上，两个所述夹爪相离运动到最大行程时，靠近所述夹爪张开位置触发开关的夹爪碰触所述夹爪张开位置触发开关开启。

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