恭喜株式会社日立高新技术清末健太郎获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社日立高新技术申请的专利等离子处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115699265B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180005030.X，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权等离子处理装置是由清末健太郎;佐藤浩平;矶村僚一;永井宏治;松芳勉设计研发完成，并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子处理装置在说明书摘要公布了：等离子处理装置具备：处理室2；和用于将处理用气体向处理室2的内部供给的气体供给装置30。气体供给装置30具有：质量流量控制器箱40，其具有吸气口41以及排气口42；多个配管43，分别安装有质量流量控制器43a；和多个配管52，其在质量流量控制器箱40的内部与多个配管43连结，且在质量流量控制器箱40的外部与成为处理用气体的供给源的多个配管54通过多个联管器53连结。多个联管器53当中的至少1个被配管外罩60覆盖，以使得将联管器53密闭。配管外罩60的内部以及质量流量控制器箱40的内部通过连通构件外周配管61、管子62连通。
本发明授权等离子处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子处理装置，具备： 处理室；和用于将处理用气体向所述处理室的内部供给的气体供给装置， 所述等离子处理装置的特征在于， 所述气体供给装置具有： 质量流量控制器箱，其具有吸气口以及排气口； 多个第1配管，设于所述质量流量控制器箱的内部，且分别安装有质量流量控制器；和 多个第2配管，在所述质量流量控制器箱的内部与所述多个第1配管连结，且在所述质量流量控制器箱的外部与成为所述处理用气体的供给源的多个第3配管通过多个第1联管器连结， 所述多个第1联管器当中的至少1个被第1配管外罩覆盖，以使得将所述第1联管器密闭， 所述第1配管外罩的内部以及所述质量流量控制器箱的内部通过第1连通构件连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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