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龙图腾网恭喜江苏集萃苏科思科技有限公司申请的专利一种调平系统和运动台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114038773B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110466119.8，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种调平系统和运动台是由罗岩;傅为一;陆海亮;谢扬设计研发完成，并于2021-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种调平系统和运动台在说明书摘要公布了：本发明涉及一种调平系统和运动台。其包括：计算单元、控制阀、空气隔振器、第一类补偿器和第一类传感器。计算单元用于根据平台的质心变化轨迹计算出隔振器的压力轨迹曲线，控制阀分别与计算单元以及空气隔振器相连，控制阀用于根据压力轨迹曲线控制空气隔振器的运转，第一类传感器用于获得平台的垂向实际位置值，第一类补偿器与第一类传感器相连，第一类补偿器用于根据实际位置值和设定位置值的差值计算出需要补偿的气压值。由于提前计算出了压力轨迹曲线，空气隔振器可根据压力轨迹曲线进行运行，有利于提高反应速度和反应精确度，且由于使用空气隔振器来对平台进行支撑，不会造成长期使用发热量过大的情况。本申请的系统可长期稳定的工作。

本发明授权一种调平系统和运动台在权利要求书中公布了：1.一种调平系统，其特征在于，包括：计算单元、控制阀、空气隔振器、第一类补偿器和第一类传感器， 所述计算单元用于根据平台的质心变化轨迹计算出隔振器的压力轨迹曲线，所述计算单元包括质心计算模块和压力计算模块，所述质心计算模块用于根据平台预设的运动轨迹计算出平台的质心变化轨迹,所述压力计算模块用于根据质心变化轨迹计算出隔振器的压力轨迹曲线, 所述控制阀分别与所述计算单元以及空气隔振器相连，所述控制阀用于根据压力轨迹曲线控制空气隔振器的运转， 所述第一类传感器用于获得平台的垂向实际位置值， 所述第一类补偿器与所述第一类传感器相连，所述第一类补偿器用于根据所述实际位置值和设定位置值的差值计算出需要补偿的气压值， 所述调平系统还包括第二类传感器，第二类补偿器和垂向力补偿电机， 所述第二类传感器用于获得空气隔振器的末端压强值， 所述第二类补偿器与所述第二类传感器相连，所述第二类补偿器用于根据末端压强值和设定压强值计算出需要补偿的力差值， 所述垂向力补偿电机与所述第二类补偿器相连，所述垂向力补偿电机用于输出补偿力，所述补偿力的大小等于所述力差值， 运动台在准备开始运行一段拟定好的轨迹时，压力计算模块已经计算好各空气隔振器在这段轨迹运行过程中各空气隔振器的压力轨迹曲线，在运动台开始运行轨迹时，压力计算模块实时将对应的压力传输给控制阀，从而根据运动台运动轨迹实时控制各空气隔振器的空气压力， 当空气隔振器的输出力达到预设值后，垂向力补偿电机不再输出补偿力，最终由空气隔振器对平台进行支撑，通过上述方式，快速实现对平台姿态的调整，以保持平台水平状态。

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