恭喜佳能株式会社增田充宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能株式会社申请的专利信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539885B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110382069.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法是由增田充宏;鲛岛裕纪设计研发完成，并于2021-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法。一种信息处理装置，检测具备多个传感器和多个控制单元的控制系统的异常，所述信息处理装置具有：计算部，其使用表示多个传感器中的两个传感器的输出值的关系、多个控制单元中的两个控制单元的控制数据的关系、或多个传感器中的一个传感器的输出值与多个控制单元中的一个控制单元的控制数据的关系的模型，对于多个传感器或多个控制单元被分成的至少两个组，针对各个组计算异常度，该异常度表示传感器的输出值或控制单元的控制数据的异常程度；以及判定部，其基于计算部计算出的异常度，针对各个组判定多个传感器或多个控制单元的异常。
本发明授权信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种信息处理装置，检测具备多个传感器和多个控制单元的控制系统的异常，所述控制系统是调整对象单元的温度的调温系统，在所述信息处理装置中，具有： 计算部，其使用表示所述多个传感器中的两个传感器的输出值的关系、所述多个控制单元中的两个控制单元的控制数据的关系、或所述多个传感器中的一个传感器的输出值与所述多个控制单元中的一个控制单元的控制数据的关系的模型，对于所述多个传感器或所述多个控制单元被分成的至少两个组，针对各个组计算异常度，该异常度表示传感器的输出值或控制单元的控制数据的异常程度；以及 判定部，其基于所述计算部计算出的所述异常度，针对各个所述组判定所述多个传感器或所述多个控制单元的异常。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京都大田区下丸子3-30-2；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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