恭喜上海矽睿科技有限公司谢国伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海矽睿科技有限公司申请的专利三轴加速度传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113156165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110089261.5,技术领域涉及:G01P15/18;该发明授权三轴加速度传感器是由谢国伟;金怡;颜培力设计研发完成,并于2021-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本三轴加速度传感器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种三轴加速度传感器,包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点;所述传感器还包括:第一可动质量块、第二可动质量块、以及第三可动质量块。第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点的两侧。本发明通过设置两个不同重心位置的质量块,通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。
本发明授权三轴加速度传感器在权利要求书中公布了:1.一种三轴加速度传感器,包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点;与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向,所在的平面为XY平面,垂直XY平面的方向为Z方向;其特征在于,所述传感器还包括: 第一可动质量块,通过第一弹性元件与锚点连接,所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件与梁连接; 第二可动质量块,通过第二弹性元件与第一可动质量块连接,所述第二弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂,使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动;以及 第三可动质量块,通过第三弹性元件与第一可动质量块连接,所述第三弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂,使所述第三可动质量块可绕XZ平面转动; 第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧,且相对于锚点的力矩相同; 还包括: 至少两个由基板表面设置的金属层组成的第一Z电极,位于锚点两侧,对应位于第二可动质量块表面的电极,组成至少一个差分电容对; 至少两个由基板表面设置的金属层组成的第二Z电极,位于锚点两侧,对应位于第三可动质量块表面的电极,组成至少一个差分电容对; 第一Z电极和第二Z电极在锚点两侧交叉布置,第二可动质量块对应的金属电极在一侧为差分电容的正电极时,同一侧的第三可动质量块对应的金属电极为差分电容的负电极。
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