恭喜财团法人工业技术研究院郭书玮获国家专利权
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龙图腾网恭喜财团法人工业技术研究院申请的专利重布线结构及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114496909B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110016793.6,技术领域涉及:H01L21/768;该发明授权重布线结构及其形成方法是由郭书玮;杨镇在;郑惟元;朱建勋;郑少斐设计研发完成,并于2021-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本重布线结构及其形成方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种重布线结构及重布线结构的形成方法,包括:在衬底上形成彼此电性绝缘的第一重布线层与第一补偿线路层,所述第一补偿线路层环绕在所述第一重布线层的周围;在所述第一重布线层与所述第一补偿线路层上形成第一介电层;以及在所述第一介电层上形成彼此电性绝缘的第二重布线层与第二补偿线路层,所述第二补偿线路层环绕在所述第二重布线层的周围,所述第二补偿线路层与所述第一补偿线路层连接,且所述第二重布线层与所述第一重布线层连接。
本发明授权重布线结构及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种重布线结构的形成方法,其特征在于,包括: 在衬底上形成彼此电性绝缘的第一重布线层与第一补偿线路层,所述第一补偿线路层环绕在所述第一重布线层的周围; 在所述第一重布线层与所述第一补偿线路层上形成第一介电层;以及 在所述第一介电层上形成彼此电性绝缘的第二重布线层与第二补偿线路层,所述第二补偿线路层环绕在所述第二重布线层的周围,所述第二补偿线路层与所述第一补偿线路层连接,且所述第二重布线层与所述第一重布线层连接, 其中所述第一补偿线路层的厚度与所述第一补偿线路层的宽度占比的乘积介于0.001至1μm之间,所述第一补偿线路层的所述宽度占比为所述第一补偿线路层的长边的所有补偿线路的宽度的和与所述第一补偿线路层的所述长边的长度的比值。
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