恭喜川崎重工业株式会社清水一平获国家专利权
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龙图腾网恭喜川崎重工业株式会社申请的专利基板保持机械手和基板搬运机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116097416B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080103708.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人是由清水一平设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持机械手和基板搬运机器人在说明书摘要公布了：一种基板保持机械手和基板搬运机器人，该基板保持机械手1具备传感器支承部件50，该传感器支承部件50支承多个基板探测传感器40，并且包括一并进行多个基板探测传感器40相对于多个叶片20的定位的定位部51。
本发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板保持机械手，其中， 所述基板保持机械手具备： 框架； 多个叶片，支承于所述框架，并分别支承基板； 多个基板探测传感器，设置为与所述多个叶片对应，并探测所述基板的存在；以及 传感器支承部件，支承所述多个基板探测传感器，并且包括一并进行所述多个基板探测传感器相对于所述多个叶片的定位的定位部， 所述传感器支承部件还包括固定部，该固定部相对于所述多个基板探测传感器设置为共用，并固定所述传感器支承部件， 所述定位部设置于所述固定部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人川崎重工业株式会社，其通讯地址为：日本兵库县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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