恭喜世界先进积体电路股份有限公司夏佳杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜世界先进积体电路股份有限公司申请的专利微机电装置及其形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114105083B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010898341.0,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权微机电装置及其形成方法是由夏佳杰设计研发完成,并于2020-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电装置及其形成方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种微机电装置及其形成方法,该微机电装置包含基底、沟槽、互连结构以及质量块。基底具有一第一表面以及相对于第一表面的一第二表面。沟槽设置在基底并延伸于第一表面以及第二表面之间。互连结构则设置在基底的第一表面上,并且位于沟槽的上方。质量块设置在互连结构上,其中,质量块部分悬挂于互连结构的上方。
本发明授权微机电装置及其形成方法在权利要求书中公布了:1.一种微机电装置,其特征在于,包含: 一基底,具有一第一表面以及相对于所述第一表面的一第二表面;一沟槽,设置在所述基底内,所述沟槽延伸于所述第一表面以及所述第二表面之间; 一互连结构,设置在所述基底的所述第一表面上,并且位于所述沟槽的上方,所述互连结构包含对应所述沟槽的一悬挂区域和所述悬挂区域中的一穿孔,其中靠近所述穿孔的所述悬挂区域的一第一端未与所述基底连接;以及 一质量块,设置在所述互连结构上,其中,所述质量块部分悬挂于所述互连结构的上方。
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