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龙图腾网恭喜日商乐华股份有限公司申请的专利晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115552583B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080100775.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法是由尾坂浩太设计研发完成，并于2020-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法在说明书摘要公布了：在晶圆搬运机器人经由对准器搬运晶圆的晶圆搬运装置中，实现高搬运吞吐量。晶圆搬运装置具备晶圆搬运机器人，使该晶圆搬运机器人的构成指部的一对晶圆保持杆的分离尺寸大于晶圆搬运装置所具备的对准器的主体部的宽度方向的尺寸。另外，通过将晶圆搬运装置所具备的升降机构构成为能够使指部向对准器的主体部的下方移动而得以解决。

本发明授权晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运装置，具备：对准器，其将晶圆保持在晶圆底座上，且检测所述晶圆的周缘部；以及搬运机器人，其保持所述晶圆，且在装载口、所述对准器及处理装置之间搬运所述晶圆， 所述搬运机器人具备： 臂体，其具备至少2个臂，各个所述臂的一端以能彼此旋转动作的方式相连接； 指部，其以能够转动的方式安装于所述臂体的前端，且利用一对晶圆保持杆来保持所述晶圆； 臂体驱动机构，其使所述臂体动作； 指部驱动机构，其驱动所述指部在水平面内旋转；以及 升降机构，其使所述臂体在铅垂方向上移动， 所述晶圆底座能旋转地支承于对准器主体部，所述对准器主体部被托架固定且水平保持，该对准器主体部具有基底部件、所述晶圆底座以及从动带轮，所述基底部件被托架水平支承，所述晶圆底座固定于经由轴承可旋转地安装于该基底部件的圆筒状的轴的上部，所述从动带轮可旋转地设置于所述轴的下端， 所述指部所访问的区域中的所述对准器主体部的宽度方向的尺寸小于所述一对晶圆保持杆的分离尺寸， 在利用所述升降机构使所述指部下降而将所述指部所保持的所述晶圆载置于所述晶圆底座后，使所述指部进一步下降至所述对准器的主体部的下方的位置，然后驱动所述臂体而使所述指部转移至下一搬运动作。

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