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恭喜富士胶片株式会社井上和臣获国家专利权

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龙图腾网恭喜富士胶片株式会社申请的专利固化膜的制造方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114341731B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080059579.2,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权固化膜的制造方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法是由井上和臣;榎本雄一郎;岛田和人设计研发完成,并于2020-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

固化膜的制造方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种固化膜的制造方法、在上述固化膜的制造方法中使用的光固化性树脂组合物、包括上述固化膜的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化膜的制造方法的电子器件的制造方法,上述固化膜的制造方法包括:第1曝光工序,对由光固化性树脂组合物形成的光固化性膜的一部分进行曝光;显影工序,通过显影液对上述曝光后的上述光固化性膜进行显影而获得图案;及第2曝光工序,通过包含波长与在上述第1曝光工序中使用的光的波长不同的光的光对上述图案进行曝光,上述光固化性树脂组合物为特定的组成。

本发明授权固化膜的制造方法、光固化性树脂组合物、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种固化膜的制造方法,其包括: 第1曝光工序,对由光固化性树脂组合物形成的光固化性膜的一部分进行曝光; 显影工序,利用显影液对所述曝光后的所述光固化性膜进行显影而获得图案;及 第2曝光工序,利用包含波长与在所述第1曝光工序中使用的光的波长不同的光的光对所述图案进行曝光, 所述光固化性树脂组合物包含: 选自包括聚酰亚胺及聚苯并噁唑的组中的至少1种树脂; 对所述第1曝光工序中的曝光波长具有灵敏度的感光性化合物A;及 感光性化合物B,其对所述第1曝光工序中的曝光波长不具有灵敏度且对所述第2曝光工序中的曝光波长具有灵敏度; 所述感光性化合物A为在所述第1曝光工序中改变所述光固化性膜在所述显影液中的溶解度的化合物, 所述制造方法满足下述条件1及条件2中的至少一个: 条件1:所述光固化性树脂组合物中的所述树脂包含在所述第2曝光工序中通过所述感光性化合物B的感光而与其他基团的键合反应得到促进的基团; 条件2:所述光固化性树脂组合物进一步包含交联剂,所述交联剂具有在所述第2曝光工序中通过所述感光性化合物B的感光而与其他基团的键合反应得到促进的基团。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人富士胶片株式会社,其通讯地址为:日本国东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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