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龙图腾网恭喜费勉仪器科技(南京)有限公司;费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111952143B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010862235.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置是由王艳会;叶雨城;赵子淳;邹洁;鹿建;谢斌平设计研发完成，并于2020-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置，包括电镜分析仪器腔体，电镜分析仪器腔体分别与真空规、RGA分析器、QCM膜厚控制仪和抽气泵连接，电镜分析仪器腔体还连接有等离子发生器，等离子发生器的输出端与电镜分析仪器腔体之间的连接管道上设置有朗缪尔探针，用以测量等离子发生器放电时产生的等离子参数，等离子发生器输出端的顶部设置有漏气阀，等离子发生器的输入端通过射频线与射频源连接。该用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置可以根据需要清洗腔体的类型和尺寸选择合适的放电功率，从而达到清洗污染物的目的，适用性更强；采用射频源激励产生等离子体对腔体内部进行清洗，对清洗腔体的内壁不会产生损伤。

本发明授权一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置，其特征在于： 由电镜分析仪器腔体（6）、真空规（7）、RGA分析器（8）、QCM膜厚控制仪（9）和抽气泵（10）、等离子发生器（3）、朗缪尔探针（5）、漏气阀（4）、射频线（2）、射频集成源（1）和连接管道组成， 所述电镜分析仪器腔体（6）分别与所述真空规（7）、所述RGA分析器（8）、所述QCM膜厚控制仪（9）和所述抽气泵（10）连接，所述电镜分析仪器腔体（6）伸出的所述连接管道上连接等离子发生器（3），所述等离子发生器（3）的输出端与所述电镜分析仪器腔体（6）之间的所述连接管道上设置有所述朗缪尔探针（5），所述朗缪尔探针（5）用于测量所述等离子发生器（3）产生的等离子参数； 所述等离子发生器（3）输出端的顶部设置有所述漏气阀（4），所述等离子发生器（3）的输入端通过所述射频线（2）与所述射频集成源（1）连接； 所述等离子发生器（3）包括等离子发生器主体（39），所述等离子发生器主体（39）的一端设置有与所述射频线（2）连接的至少两个射频线连接口（34），所述等离子发生器主体（39）的内部设置有两个发生室，且两个发生室之间通过耦合器（37）分隔开， 所述等离子发生器主体（39）的另一端设置有安装座（31），所述安装座（31）的表面开有漏气阀接口（38），用于与漏气阀（4）连接，所述安装座（31）内对应于漏气阀接口（38）的上方设置有紧固螺栓（35），所述漏气阀（4）包括漏气阀主体，漏气阀主体一端设置有漏气阀接头，漏气阀接头的一端为尖端，通过螺纹与紧固螺栓（35）螺纹固定，螺纹位置开始的漏气阀接头位于漏气阀接口（38）的外部，转动漏气阀主体使得漏气阀接头的螺纹与紧固螺栓（35）内壁螺接，所述安装座（31）一端的安装孔（36）通过螺栓与密封法兰（32）连接，且密封法兰（32）连接安装座（31）与连接管道； 所述射频集成源（1）的放电频率为200-500MHz，放电功率为100-150W。

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