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龙图腾网恭喜广东鼎泰机器人科技有限公司申请的专利一种气体离化冷却机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111607764B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010691115.5，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种气体离化冷却机构是由王俊锋;袁明;王锋设计研发完成，并于2020-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体离化冷却机构在说明书摘要公布了：本发明涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种气体离化冷却机构，其包括装配基体、正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件，冷却组件安装于负极载件的下部，正极载件和负极载件之间产生电场，气腔基件设置于正极载件与负极载件之间，以使气腔基件位于所述电场中，气腔基件设有离子发生腔以及与离子发生腔连通的多个离子发射通孔。本机构能够产生大量的离子，作为溅射镀膜过程的轰击粒子，在气体放电的过程中负极载件处于超级高温状态，对冷却组件导入流动的冷却液，以对负极载件和气腔基件进行有效、快速的降温，延长各个部件的使用寿命。

本发明授权一种气体离化冷却机构在权利要求书中公布了：1.一种气体离化冷却机构，包括装配基体，其特征在于：还包括正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件，负极载件安装于装配基体的上部，所述冷却组件安装于负极载件的下部，以用于对负极载件冷却，正极载件和负极载件之间产生电场，气腔基件设置于正极载件与负极载件之间，以使气腔基件位于所述电场中，所述气腔基件设有离子发生腔以及与离子发生腔连通的多个离子发射通孔； 所述冷却组件包括冷却托件、进液咀和出液咀，冷却托件安装于负极载件的下部，冷却托件与负极载件围设形成冷却液腔，进液咀和出液咀分别安装于冷却托件的两端，进液咀和出液咀与冷却液腔连通；冷却液从进液咀导入冷却液腔内，直接与负极载件接触，冷却液腔内的冷却液从出液咀流出，冷却液处于实时流动的状态； 所述气体离化冷却机构还包括冷却围板，冷却围板中部设有安装孔，以用于安装气腔基件； 所述冷却围板的下部设有注液棒，注液棒设有进液通道和出液通道，冷却围板的上部设有冷却环槽，进液通道和出液通道均与冷却环槽连通，冷却液依次流经进液通道、冷却环槽和出液通道，以用于对气腔基件冷却； 冷却环槽所在平面与注液棒的轴向中心线垂直设置，冷却组件对负极载件冷却，气腔基件位于负极载件上，冷却组件对气腔基件的下部进行冷却，冷却环槽用于对气腔基件的边缘处冷却； 所述气体离化冷却机构还包括多个磁性部件，所述气腔基件设有多个限位孔，多个限位孔呈环形阵列，形成限位孔环，多个离子发射通孔呈直线阵列，多个离子发射通孔均位于限位孔环内部，多个磁性部件分别限位于多个限位孔； 磁性部件用于控制离子从离子发射通孔发射出去的受力，通过控制磁性部件与离子发射通孔的位置关系，由磁性部件产生的磁场来改变离子的运动方向和轨迹，使其作为溅射镀膜过程的轰击粒子。

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