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龙图腾网恭喜欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔申请的专利阴极电弧源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114341395B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080061854.4，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权阴极电弧源是由S·克拉斯尼策;J·哈格曼;A·P·特鲁霍尔兹设计研发完成，并于2020-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本阴极电弧源在说明书摘要公布了：本发明涉及阴极电弧蒸发设备，其包含：‑靶3，其具有包含活性表面3’’的靶表面3’，在阴极电弧方法中材料能够从其蒸发；‑围绕所述靶表面3’的外边界的限制部4；‑具有电子接受表面2’，2’’，2’’’的阳极2，所述阳极2在靶平面和所述活性表面前方的轴向距离中的至少一个中包括所述靶3和所述限制部4中的至少一个；‑磁性引导系统，其适于在所述靶表面处提供基本上平行于所述靶表面的至少外部区域的磁场，使得磁场线平行于所述靶表面或以锐角α向所述靶表面倾斜，在那里在表面3’区域中限定活性表面3’’，其中磁场线以锐角α≤45°进入所述靶表面；‑中心轴Z或中心平面Z’；其中所述限制部4和所述阳极2两者被制成闭合的几何形状，并且两者相对于彼此和所述靶电绝缘，在那里所述电子接受表面2’，2’’,2’’’距所述活性表面3’’的最小距离由所述靶表面3’的外边界到所述电子接受表面的内边界的径向距离Δr14中的至少一个限定，由此所述靶表面3’的外边界具有距所述靶的中间的径向距离r1，并且所述电子接受表面的内边界具有距所述靶的中间的径向距离r4，以及从所述靶表面3’到所述限制部的上边界的轴向距离h1或从所述靶表面3’到所述电子接受表面2’，2’’，2’’’的下边界的轴向距离h2。

本发明授权阴极电弧源在权利要求书中公布了：1.阴极电弧蒸发设备，其包含： i.作为阴极的靶，其具有 待蒸发的材料的前靶表面，即活性靶表面， 背靶表面，其平行于所述前靶表面但是面向放置在相对于所述前靶表面的相反侧的靶背板，和 侧靶表面，其连接所述前靶表面与所述背靶表面， ii.电浮动限制部，其位于邻近所述侧靶表面，所述限制部包含内表面和外表面，其中所述侧靶表面到所述限制部的内表面比到所述限制部的外表面更近， iii.作为阳极的电极，其具有用作电子接受表面的内表面， iv.磁性引导系统，其适于提供包含位于所述前靶表面前方的磁场线的磁场， 其特征在于： 如果考虑在相对于所述前靶表面的垂直平面中的距离，所述限制部的内表面放置在所述前靶表面与所述阳极的所述电子接受表面之间，和或 如果考虑在相对于所述前靶表面的平行平面中的距离，所述限制部的内表面放置在所述侧靶表面与所述阳极的所述电子接受表面之间，和 所述磁性引导系统被设计和调整用于生产至少以下两个磁场区域： 第一区域，其包含位于所述前靶表面前方的磁场线，所述磁场线离开所述前靶表面并终止于所述限制部构件的内表面，和 第二区域，其包含位于所述前靶表面前方的磁场线，所述磁场线离开所述前靶表面并终止于所述阳极的所述电子接受表面， 其中所述磁性引导系统包含至少中心磁体和外围环形磁体，所述中心磁体具有放置在所述靶的背表面的中心前方的磁极并且与其轴向对齐，所述外围环形磁体在靶平面中或靶平面下方具有反向磁极，所述环形磁体预期包括所述中心磁体和所述靶的至少一部分；且所述磁性引导系统进一步包含包括所述环形磁体、所述靶和所述阳极的外围轭，所述外围轭由可磁化的材料制成。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔，其通讯地址为：瑞士普费菲孔；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。