恭喜盛美半导体设备(上海)股份有限公司石轶获国家专利权
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龙图腾网恭喜盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利电镀装置及电镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113122901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911421406.6，技术领域涉及：C25D17/02；该发明授权电镀装置及电镀方法是由石轶;余齐兴;金一诺;杨宏超;王坚;王晖设计研发完成，并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本电镀装置及电镀方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种电镀装置以及电镀方法，所述电镀装置至少包括：电镀腔，用于容纳电镀液，所述电镀腔内部由分隔组件分隔为阳极腔和阴极腔，阳极腔内容纳有阳极；基片支架，所述基片支架包括第一驱动器和基片夹具，所述基片夹具用以保持基片，所述第一驱动器用以驱动所述基片夹具上下移动，以使基片的工艺位置与分隔组件保持预定间隙；其中，所述阳极为消耗阳极，所述分隔组件被配置成可相对所述阳极移动，以维持所述分隔组件与所述阳极间距离恒定。本发明的电镀装置以及电镀方法，通过分隔组件以及基片的可移动性，保持阳极与基片的相对位置不变，提高电镀均一性。
本发明授权电镀装置及电镀方法在权利要求书中公布了：1.一种电镀装置，其特征在于，至少包括： 电镀腔，用于容纳电镀液，所述电镀腔内部由分隔组件分隔为阳极腔和阴极腔，阳极腔内容纳有阳极； 基片支架，所述基片支架位于所述电镀腔的外围，所述基片支架包括第一驱动器和基片夹具，所述基片夹具用以保持基片，所述第一驱动器用以驱动所述基片夹具上下移动，以使基片的工艺位置与分隔组件保持预定间隙； 其中，所述阳极为消耗阳极，所述分隔组件被配置成可相对所述阳极移动，以维持所述分隔组件与所述阳极间距离恒定； 可伸缩侧壁，所述分隔组件安装于所述可伸缩侧壁的顶部； 驱动机构，所述驱动机构位于所述电镀腔外围，所述驱动机构用以驱动所述可伸缩侧壁上下移动，以使所述分隔组件与所述阳极间距离恒定。
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