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恭喜成都工业学院秦海森获国家专利权

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龙图腾网恭喜成都工业学院申请的专利一种高结合强度的石英坩埚氮化硅涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120058240B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510510205.2,技术领域涉及:C03C17/22;该发明授权一种高结合强度的石英坩埚氮化硅涂层及其制备方法是由秦海森;张博;孙大明;段平强设计研发完成,并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高结合强度的石英坩埚氮化硅涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高结合强度的石英坩埚氮化硅涂层及其制备方法,解决了现有技术中涂层结合强度不足及工艺复杂的问题。该方法包括以下步骤:由石墨粉体、二氧化硅粉体、乙醇混合后研磨并真空脱泡制成浆料A;由单晶硅粉体、氮化硅粉体、乙醇混合后研磨并真空脱泡制成浆料B;所述浆料A喷涂至未经烧制的石英坩埚表面并烘干;在氮气氛围下进行高温煅烧,经碳热还原反应生成氮化硅结合层;所述浆料B喷涂至结合层表面并烘干;在惰性气氛下进行高温烧结生成氮化硅外延层。本发明通过碳热还原反应生成的致密结合层,显著提升了涂层与石英坩埚的结合强度,有效降低了高温变形率,延长了坩埚使用寿命。

本发明授权一种高结合强度的石英坩埚氮化硅涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高结合强度的石英坩埚氮化硅涂层的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤: S1、制备喷涂浆料A和浆料B:将石墨粉体、二氧化硅粉体及乙醇混合后在球磨机内研磨并真空脱泡制成浆料A;将单晶硅粉体、氮化硅粉体及乙醇混合后在球磨机内研磨并真空脱泡制成浆料B; S2、喷涂浆料A:将制成的浆料A喷涂至未经烧制的石英坩埚表面形成前驱体A,喷涂厚度为10~50μm; S3、第一次烧制:先将前驱体A在80~100℃的温度下烘干1~2h以去除乙醇,然后在氮气氛围下进行高温煅烧,经碳热还原反应生成致密的氮化硅结合层; S4、喷涂浆料B:将制成的浆料B喷涂至氮化硅结合层表面形成前驱体B,喷涂厚度为100~250μm; S5、第二次烧制:将前驱体B在100~150℃的温度下烘干2h以去除乙醇,然后在氮气氛围下进行高温烧结生成氮化硅外延层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人成都工业学院,其通讯地址为:611730 四川省成都市郫都区中信大道二段1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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