恭喜尊芯智能科技(苏州)有限公司;尊芯(上海)半导体科技有限公司张健强获国家专利权
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龙图腾网恭喜尊芯智能科技(苏州)有限公司;尊芯(上海)半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆盒夹持装置、夹持方法和天车系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120024801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510505815.3,技术领域涉及:B66C1/42;该发明授权一种晶圆盒夹持装置、夹持方法和天车系统是由张健强;赵萌;陈飞设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒夹持装置、夹持方法和天车系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆盒夹持装置、夹持方法和天车系统,晶圆盒夹持装置包括夹爪组件、连杆组件和锁紧件,夹爪组件沿水平面的第一方向间隔设置有两个,两个夹爪组件均能沿第一方向同步相对或相背移动以在初始位置和夹持位置之间切换。连杆组件位于两个夹爪组件之间,连杆组件包括沿水平面的第二方向延伸的转轴,转轴能沿自身轴线转动,转轴上固定有竖直设置的转动板,转动板上铰接有两个相对转轴中心对称的第一杆体,两个第一杆体分别和两个夹爪组件铰接。锁紧件和转轴连接,在夹持位置时,锁紧件为转轴提供一个锁止力矩。夹持装置响应时间短,噪音低,且夹持力大,在不占用额外空间的前提下,为晶圆盒提供稳定的夹持力。
本发明授权一种晶圆盒夹持装置、夹持方法和天车系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒夹持装置,其特征在于:包括: 夹爪组件,所述夹爪组件沿水平面的第一方向间隔设置有两个,两个所述夹爪组件均能沿第一方向同步相对或相背移动以在初始位置和夹持位置之间切换; 连杆组件,所述连杆组件位于两个所述夹爪组件之间,所述连杆组件包括沿水平面的第二方向延伸的转轴,所述转轴能沿自身轴线转动,所述转轴上固定有竖直设置的转动板,所述转动板上铰接有两个相对所述转轴中心对称的第一杆体,两个所述第一杆体分别和两个所述夹爪组件铰接; 锁紧件,所述锁紧件和所述转轴连接,在所述夹持位置时,所述锁紧件为所述转轴提供一个锁止力矩; 所述晶圆盒夹持装置还包括用于检测所述连杆组件位置的检测组件,所述检测组件包括定位架、遮光片和光电传感器,所述光电传感器固定在所述定位架上且设置有两个,两个所述光电传感器分别和初始位置和夹持位置对应,所述遮光片固定在所述转轴延伸出转动板的端部; 所述晶圆盒夹持装置还包括驱动件,所述驱动件与所述转轴远离所述遮光片的一端固定连接,所述驱动件和所述光电传感器通信连接; 所述第一杆体上开设有一个为所述转轴让位的缺口,在夹持位置时,所述转轴的部分嵌入所述缺口,此时所述第一杆体和所述转动板连接的铰接轴的轴线一、所述第一杆体和所述夹爪组件连接的铰接轴的轴线二和所述转轴的轴线三不共面。
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