恭喜江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏神州半导体科技有限公司申请的专利大功率高稳定性远程等离子源模糊滞环控制方法及电路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120010233B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510495168.2，技术领域涉及：G05B11/42；该发明授权大功率高稳定性远程等离子源模糊滞环控制方法及电路是由潘小刚;顾小军;束寅志;朱培文设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本大功率高稳定性远程等离子源模糊滞环控制方法及电路在说明书摘要公布了：本发明属于等离子源技术领域，提供了一种大功率高稳定性远程等离子源模糊滞环控制方法及电路，当反应腔体点火成功时，控制等离子源系统工作在定频变占空比的恒功率输出，包括：根据采样的电流值和占空比、预测的电流值和占空比，分别获取误差控制变量e、ec；将误差控制变量e、ec作为模糊控制器的输入值，获取模糊控制器输出的实际控制量hr；基于误差控制变量e、ec获取电流、占空比的补偿变量和；将实际控制量hr作为滞环比较器的环宽值，按照预设规则以输出补偿变量和分别对k时刻的电流和占空比进行补偿。本发明提供的方法能保证较宽范围的功率窗口，使得远程等离子源工作稳定性得到提高，提升半导体制程工艺的均匀性。
本发明授权大功率高稳定性远程等离子源模糊滞环控制方法及电路在权利要求书中公布了：1.一种大功率高稳定性远程等离子源模糊滞环控制方法，其特征在于，在接收到点火信号后，控制等离子源系统工作在谐振频率点恒流输出，用以对反应腔体进行点火；当反应腔体点火成功时，控制等离子源系统工作在定频变占空比的恒功率输出，包括： 根据采样的电流值和占空比、预测的电流值和占空比，分别获取误差控制变量e、ec；其中，，，和分别为k时刻的电流采样值和占空比，和分别为k+1时刻预测的电流采样值和占空比； 将误差控制变量e、ec作为模糊控制器的输入值，获取模糊控制器输出的实际控制量hr； 基于误差控制变量e、ec获取电流、占空比的补偿变量和； 将实际控制量hr作为滞环比较器的环宽值，按照预设规则以输出补偿变量和分别对k时刻的电流和占空比进行补偿。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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