恭喜矽电半导体设备(深圳)股份有限公司吴贵阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利基于线性函数的摆臂弹片调节方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119972585B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510451374.3,技术领域涉及:B07C5/36;该发明授权基于线性函数的摆臂弹片调节方法是由吴贵阳设计研发完成,并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于线性函数的摆臂弹片调节方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于线性函数的摆臂弹片调节方法,涉及测量距离的技术领域,包括如下步骤:使用调节块从未接触摆臂的位置开始移动并多次往返以推动摆臂运动,根据弹片变形曲线特性将弹片变形曲线依次划分为a区间、c区间和b区间;计算a区间、c区间和b区间之间的交界点以及a区间、c区间和b区间的函数;预设调节目标位置;测量摆臂位置并计算弹片调节量,判断弹片调节量所属区间并调用对应区间的函数,根据对应函数计算相应的摆臂调节距离,调节块按摆臂调节距离推动摆臂;判断调节效果,如调节效果不合格,重复调节,直至调节效果合格。本发明的基于线性函数的摆臂弹片调节方法,能够对弹片进行调节,弥补弹片加工公差和弹片变形的问题。
本发明授权基于线性函数的摆臂弹片调节方法在权利要求书中公布了:1.基于线性函数的摆臂弹片调节方法,其特征在于,摆臂吸嘴机构包括底座以及沿底座的中心对称设置的两个摆臂吸嘴组件,摆臂吸嘴组件包括摆臂、吸嘴和弹片,吸嘴设置在摆臂的顶端,弹片用于连接摆臂的底端和底座,摆臂的侧壁和底座之间设置有弹簧,弹簧用于带动摆臂的顶端向远离底座的方向摆动,当吸嘴在吸取晶圆芯粒过程,芯粒对吸嘴有一个作用力,作用力也驱动吸嘴向靠近底座的方向运动,从而让摆臂和限位螺丝分离,这个作用力是弹片和弹簧的综合作用下的合力,为了确保两个摆臂吸嘴组件的对称性和一致性,需要对弹片进行调节,所述调节方法包括如下步骤: 使用调节块从未接触摆臂的位置开始移动并多次往返以推动摆臂运动,调节块每次接触摆臂后增加一定距离,以弹片变形量为横坐标、调节块接触摆臂后的有效距离为纵坐标,得到弹片变形曲线,根据弹片变形曲线特性将弹片变形曲线依次划分为a区间、c区间和b区间; 采集一系列的和数据,计算a区间、c区间和b区间之间的交界点以及a区间、c区间和b区间的函数; 将待调摆臂安装在调节装置上,预设调节目标位置; 测量摆臂位置并计算弹片调节量,判断弹片调节量所属区间并调用对应区间的函数,根据对应函数计算相应的摆臂调节距离,调节块按摆臂调节距离推动摆臂以调节弹片; 判断调节效果,如调节效果不合格,重复调节,直至调节效果合格。
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