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上海孤波科技有限公司咸国曾获国家专利权

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龙图腾网获悉上海孤波科技有限公司申请的专利一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119888374B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510345235.2,技术领域涉及:G06V10/764;该发明授权一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置是由咸国曾;钱大君;周浩设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置在说明书摘要公布了:本发明实施例提供了一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置,该方法包括对待识别晶圆的晶圆图进行点云转换,获得所述待识别晶圆的原始点云集合;对所述原始点云集合中各点云进行归一化处理,获得归一化后的目标点云集合;根据所述目标点云集合,构建所述待识别晶圆的点云特征图;根据所述点云特征图和预构建的分类网络模型,确定所述待识别晶圆的缺陷模式识别结果。利用该方法,基于点云的归一化方式从根本上保留了晶圆图的原始信息和几何特性,同时解决了图像统一大小过程中信息丢失或引入虚假信息的问题,更适合多尺寸晶圆图的缺陷模式识别任务。相较于传统的图像归一化方法,能够提供更稳定、真实的特征表示,提高了晶圆缺陷模式识别的精度。

本发明授权一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆缺陷模式的识别方法,其特征在于,包括: 对待识别晶圆的晶圆图进行点云转换,获得所述待识别晶圆的原始点云集合,其中,所述晶圆图中每个像素表示一颗芯片; 对所述原始点云集合中各点云进行归一化处理,获得归一化后的目标点云集合; 根据所述目标点云集合,构建所述待识别晶圆的点云特征图; 根据所述点云特征图和预构建的分类网络模型,确定所述待识别晶圆的缺陷模式识别结果; 所述根据所述目标点云集合,构建所述待识别晶圆的点云特征图,包括: 对所述目标点云集合中的点云进行区域划分,获得多个点云区域; 根据各所述点云区域中包含各芯片的芯片状态,构建所述待识别晶圆的点云特征图; 所述根据各所述点云区域中包含芯片的芯片状态,构建所述待识别晶圆的点云特征图,包括: 针对每个所述点云区域,根据所述点云区域中包含的已通过测试芯片和未通过测试芯片,按照第一特征提取方式进行特征提取,构建所述待识别晶圆的第一特征图,其中,所述第一特征提取方式包括统计每个点云区域内不同状态芯片的比例; 将所述第一特征图作为所述点云特征图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海孤波科技有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区碧波路177号503E、503F、503G、503H、503I、503J室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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