无锡亘芯悦科技有限公司陈龙获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利电子显微成像量测方法、装置、设备、介质和程序产品获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119850608B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510323427.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权电子显微成像量测方法、装置、设备、介质和程序产品是由陈龙;请求不公布姓名;侯健设计研发完成,并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子显微成像量测方法、装置、设备、介质和程序产品在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体量测技术领域,特别是涉及一种电子显微成像量测方法、装置、设备、介质和程序产品。所述方法包括:获取待处理的目标对象的检测图像;基于预构建的图像转换模型处理所述检测图像,得到与所述检测图像相匹配的模板图像;基于预设的图像分析算法确定所述模板图像中的目标区域的目标信息,所述目标区域包括量测目标以及量测目标边缘;根据所述目标信息生成与所述目标区域相对应的量测目标框,将所述量测目标框应用至所述检测图像,以在所述检测图像中确定包含所述目标对象的局部区域,对所述局部区域成像以实现对所述目标对象的量测。采用本方法能够提高了量测流程整体的效率和准确度。
本发明授权电子显微成像量测方法、装置、设备、介质和程序产品在权利要求书中公布了:1.一种电子显微成像量测方法,其特征在于,所述方法包括: 获取待处理的目标对象的检测图像; 基于预构建的图像转换模型处理所述检测图像,得到与所述检测图像相匹配的模板图像; 基于预设的图像分析算法确定所述模板图像中的目标区域的目标信息,所述目标区域包括量测目标以及量测目标边缘; 根据所述目标信息生成与所述目标区域相对应的量测目标框,将所述量测目标框应用至所述检测图像,以在所述检测图像中确定包含所述目标对象的局部区域,对所述局部区域成像以实现对所述目标对象的量测; 所述基于预构建的图像转换模型处理所述检测图像,得到与所述检测图像相匹配的模板图像之前,还包括: 获取样本数据集,所述样本数据集中包括历史检测图像以及相对应的图形数据系统模板; 将所述历史检测图像与所述图形数据系统模板进行图案匹配,基于所述图形数据系统模板生成若干类样本模板图像; 基于预设比例的所述历史检测图像以及所述样本模板图像构建标签数据集,通过所述标签数据集对预构建的循环生成判别网络模型进行训练,得到所述图像转换模型。
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