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龙图腾网获悉晓睿真空设备(嘉兴)有限公司申请的专利一种磁控溅射用在线摆动式可调磁棒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119800314B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510288267.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射用在线摆动式可调磁棒是由文继志;隆旭辉设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控溅射用在线摆动式可调磁棒在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁控溅射用在线摆动式可调磁棒包括外壳组件、磁轭组件、调节组件；外壳组件具有容置腔室，磁轭组件位于外壳组件的下方；调节组件具有多个且彼此独立控制，其沿磁轭组件的长度方向排布且设于容置腔室内；每个调节组件的输出端垂直磁轭组件直线往复运动，且均由容置腔室的侧壁向磁轭组件所在侧穿出，与磁轭组件铰接，以带动磁轭组件局部或全部改变与溅射靶表面的距离。通过设置多个调节组件，调节组件与磁轭组件具有多个连接点位，调节组件的输出端动作，带动对应点位的磁轭组件局部改变与溅射靶表面的距离（靠近或远离），进而对局部磁场强度进行调整，实现对溅射靶表面的镀膜厚度进行实时在线控制，使得镀膜产品的镀层厚度趋于一致。

本发明授权一种磁控溅射用在线摆动式可调磁棒在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射用在线摆动式可调磁棒，其特征在于：包括外壳组件10、磁轭组件20以及调节组件50；所述外壳组件10具有容置腔室111，所述磁轭组件20位于所述外壳组件10的外部；所述调节组件50具有多个且彼此独立控制，其沿所述磁轭组件20的长度方向排布且设于所述容置腔室111内，且其输出端由所述容置腔室111的侧壁向所述磁轭组件20所在侧穿出，与所述磁轭组件20铰接，带动所述磁轭组件20直线往复运动，以带动所述磁轭组件20局部或全部改变与溅射靶表面的距离； 还包括固设于所述外壳组件10内的摆动组件80，所述外壳组件10可转动的连接于机体上；所述摆动组件80包括摆动电机81，所述摆动电机81固定安装于所述外壳组件10上，驱动组件90固定安装在机体上，所述摆动电机81的输出端由所述驱动组件90限制转动；所述摆动电机81的输出端转动，反作用力带动所述摆动电机（81）反向转动，进而驱动所述外壳组件10沿其回转轴线摆动，以带动所述磁轭组件20沿所述外壳组件10回转轴线摆动。

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