深圳市新凯来工业机器有限公司胡红旗获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利晶圆缺陷检测方法、系统和终端设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905418B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510277899.X，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆缺陷检测方法、系统和终端设备是由胡红旗;张贺;罗会斌;孙聃石设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缺陷检测方法、系统和终端设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆缺陷检测方法、系统和终端设备，上述方法包括：获取基于目标运动轨迹运动的目标晶圆的多个第一信号，一个第一信号对应目标运动轨迹中的一个采样点，每相邻两个采样点的采样时刻的时间间隔相同；获取目标晶圆经过各个采样点时的运动参数以计算每相邻两个采样点之间的空间间隔；对多个第一信号进行等空间间隔采样以得到多个第二信号，每相邻两次采样得到的两个第二信号对应的两个采样点之间的空间间隔均为目标空间间隔；基于多个第二信号生成信号包络以对目标晶圆进行缺陷预检并基于缺陷预检的结果调节激光的功率，晶圆缺陷检测精度高，激光功率调节精确性高，适用性强。
本发明授权晶圆缺陷检测方法、系统和终端设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括： 获取目标晶圆的多个第一信号，所述第一信号为在激光提供照明的情况下对基于目标运动轨迹运动的所述目标晶圆进行光强信号采样得到的光强数字信号，其中，一个所述第一信号对应所述目标运动轨迹中的一个采样点，所述目标运动轨迹中每相邻两个所述采样点对应的采样时刻的时间间隔相同； 获取所述目标晶圆基于所述目标运动轨迹运动的过程中经过各个所述采样点时的运动参数，基于所述运动参数计算每相邻两个所述采样点之间的空间间隔； 对多个所述采样点对应的多个所述第一信号进行等空间间隔采样以得到多个第二信号，其中，每相邻两次采样得到的两个所述第二信号对应的两个所述采样点之间的所述空间间隔均为目标空间间隔； 基于多个所述第二信号生成信号包络，基于所述信号包络对所述目标晶圆进行缺陷预检以基于缺陷预检的结果调节所述激光的功率。
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