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龙图腾网获悉浙江万谷半导体有限公司申请的专利一种抽真空系统及具有其的封管机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119572749B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510133605.6，技术领域涉及：F16K3/02；该发明授权一种抽真空系统及具有其的封管机是由温汉军设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抽真空系统及具有其的封管机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抽真空系统及具有其的封管机，涉及真空石英封管机技术领域，包括分子泵机组，所述分子泵机组包括分子泵与前级泵，所述分子泵与前级泵之间设置有隔离阀，所述隔离阀包括壳体，所述壳体上设置有进气管和出气管，出气管内设置有单向组件；本发明通过固定筒、挡板、第一弹性件和环形板等设置，当前级泵出现泵压下降、停电以及故障时，大部分反流气体被阻挡在固定筒的外侧，仅有少量气体进入固定筒的内部，与此同时，挡板在第一弹性件的作用下迅速与密封板接触，进入固定筒的气体对挡板产生正向推动，使得挡板的响应速度更快，从而减少甚至避免反流气体对分子泵的影响，提高隔离阀的响应速度。

本发明授权一种抽真空系统及具有其的封管机在权利要求书中公布了：1.一种抽真空系统，包括分子泵机组（2），其特征在于，所述分子泵机组（2）包括分子泵（21）与前级泵（22），所述分子泵（21）与前级泵（22）之间设置有隔离阀（3）； 所述隔离阀（3）包括壳体（31），所述壳体（31）上设置有进气管（32）和出气管（33），所述进气管（32）与分子泵（21）的排气端通过管道相连，所述出气管（33）与前级泵（22）的进气端通过管道相连，所述壳体（31）的顶部设置有密封件（34），所述密封件（34）上设置有旋钮（35），所述密封件（34）与壳体（31）之间形成有空腔，所述空腔内滑动设置有同轴设置的活塞柱（36），所述活塞柱（36）将空腔间隔为活动腔（301）和背压腔（302），所述活塞柱（36）的圆周侧贯穿开设有气孔（361），所述出气管（33）的侧壁上设置有与背压腔（302）连通的旁通管（37），所述出气管（33）内设置有单向组件（4），且单向组件（4）位于活塞柱（36）与旁通管（37）之间； 所述单向组件（4）包括同轴设置于出气管（33）内的固定筒（41）； 所述固定筒（41）为两端开口的筒状结构，且所述固定筒（41）包括水平段和倾斜段，所述固定筒（41）倾斜段的截面直径沿出气管（33）的长度方向呈阶梯式变化，所述固定筒（41）靠近活塞柱（36）的一端为进气端，另一端为出气端，且进气端的直径大于出气端的直径； 所述进气端的内壁上同轴固定有环形的密封板（42），所述密封板（42）的一侧同轴设置有挡板（43）； 所述固定筒（41）的外壁上转动连接有转筒（46），所述固定筒（41）与转筒（46）的圆周侧分别开设有多个圆周均布的第一通孔（411）和第二通孔（461），且所述第一通孔（411）和第二通孔（461）为交错设置，所述挡板（43）上同轴设置有连接杆（47），所述转筒（46）的一端开设有与连接杆（47）匹配的连接孔（462），所述连接杆（47）的圆周侧开设有螺旋轨道（471），所述连接孔（462）的内壁上固定连接有与螺旋轨道（471）匹配的连接块。

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