买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉名正(浙江)电子装备有限公司;安徽名正电子装备有限公司申请的专利一种晶圆研磨机的顶部磨削结构及晶圆研磨机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119388319B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411979220.3，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种晶圆研磨机的顶部磨削结构及晶圆研磨机是由郑勇设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆研磨机的顶部磨削结构及晶圆研磨机在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆研磨机的顶部磨削结构及晶圆研磨机，涉及晶圆研磨机的技术领域，晶圆研磨机的顶部磨削结构，包括安装座、竖直滑动连接于安装座的多个研磨组件，所述研磨组件内安装有内压组件，所述内压组件用于磨盘施加压力，使磨盘各点受到的压强P随着与中心点的间距r的增加而减小。一种晶圆研磨机包括：支撑结构、顶部磨削结构、底部驱动结构。本申请具有提升磨削作用的效果。

本发明授权一种晶圆研磨机的顶部磨削结构及晶圆研磨机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨机的顶部磨削结构，其特征在于，包括安装座（210）、竖直滑动连接于安装座（210）的多个研磨组件（220），所述安装座（210）通过第一气缸（226）驱动研磨组件（220）竖直移动，所述研磨组件（220）包括滑块（221）、转动连接于滑块（221）的转动轴（222）、驱动转动轴（222）转动的驱动电机（223）以及连接于转动轴（222）下端的盘座（224），所述盘座（224）底部固定连接有磨盘（225）； 所述研磨组件（220）内安装有内压组件（230），所述内压组件（230）用于磨盘（225）施加压力，使磨盘（225）各点受到的压强P（r）随着与中心点的间距r的增加而减小； 所述内压组件（230）用于磨盘（225）施加压力，使磨盘（225）各点受到的压强P（r）满足以下条件： ； 其中：F为内压组件（230）施加于磨盘（225）的总压力； R为磨盘（225）的最大直径； r为距离磨盘（225）中心点的间距； 所述内压组件（230）包括中心气缸（231）和多个分布气缸（232），所述中心气缸（231）与磨盘（225）呈同轴设置，所述分布气缸（232）以磨盘（225）圆心为中心呈周向均匀分布；所述内压组件（230）还包括连接盘（233），所述磨盘（225）粘接于连接盘（233），所述中心气缸（231）与分布气缸（232）的活动端均固定连接于连接盘（233），所述分布气缸（232）设置有多组，每组分布气缸（232）具有多个分布气缸（232）； 所述连接盘（233）包括受力区和连接区（237），所述受力区包括位于连接盘（233）的中心的圆心受力区（235）以及与圆心受力区（235）同轴设置的多个环形受力区（236），相邻的所述环形受力区（236）之间为所述连接区（237），所述连接盘（233）位于受力区和连接区（237）交界处开设有环形形变槽（238），所述环形形变槽（238）与连接盘（233）呈同轴设置，所述连接盘（233）位于连接区（237）内开设有多个射线形变槽（239），所述射线形变槽（239）沿着连接盘（233）的径向延申，所述射线形变槽（239）两端分别与一环形形变槽（238）连接，所述中心气缸（231）的活动端与连接盘（233）的圆心受力区（235）连接，所述分布气缸（232）与连接盘（233）的环形受力区（236）连接，一组分布气缸（232）对应一个环形受力区（236）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人名正(浙江)电子装备有限公司;安徽名正电子装备有限公司，其通讯地址为：314000 浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇塘濮路455号4号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。