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龙图腾网获悉李佳娣申请的专利一种差分电容式压力传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223050759U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422271144.2，技术领域涉及：G01L1/14；该实用新型一种差分电容式压力传感器是由曹英杰;丁康晋;赵恒硕设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种差分电容式压力传感器在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种差分电容式压力传感器，涉及微电子技术领域，包括衬底、敏感膜和含有上极板的固定层、下极板、动极板、连接体、支撑体；连接体连接敏感膜和动极板，动极板位于平行且固定不动的上极板和下极板之间，构成差分电容。敏感膜受力移动带动动极板移动,动极板保持平面状态，动极板连接敏感膜变形的底部，传感器的灵敏度大，线性度高。测试绝压压力时,传感器无须设置通孔,测试差压压力时,传感器只需设置一个通孔,提高了传感器的可靠性和使用寿命,减少传感器的制造成本。本实用新型基于SOI基片采用通用的mems制造工艺,使本实用新型的传感器芯片容易制造，确保了敏感膜厚度和电容间距的准确度。

本实用新型一种差分电容式压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种差分电容式压力传感器，其特征在于，包括衬底（100）、支撑体（200）、可动电极组件（300）、固定电极组件（400），可动电极组件（300）包括敏感膜（310）、连接体（320）、动极板（330），固定电极组件（400）包括下极板（410）、由上极板421和上极板附加层（422）组成的固定层（420）; 所述支撑体（200）设置于所述衬底（100）上，所述支撑体（200）围成中空腔（1），所述下极板（410）设置于中空腔（1）的底部,并固定在所述衬底（100）上,所述连接体（320）和所述动极板（330）均设置于中空腔（1）内，所述固定层（420）与敏感膜（310）连接一起设置于中空腔（1）的上方,其周边固定在所述支撑体（200）上； 所述动极板（330）通过所述连接体（320）连接所述敏感膜（310），所述动极板（330）位于上极板（421）和下极板（410）之间,所述敏感膜（310）在压力作用下移动,并通过连接体（320）带动动极板（330）移动，所述上极板（421）与所述动极板（330）构成的电容和所述下极板（410与所述动极板（330）构成的电容形成差分电容结构。

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