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苏州苏纳光电有限公司朱斌青获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州苏纳光电有限公司申请的专利双面微透镜结构的制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119224893B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411292735.6,技术领域涉及:G02B3/00;该发明授权双面微透镜结构的制作方法是由朱斌青;刘凤;张祥;范传新;王俊雅设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

双面微透镜结构的制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种双面微透镜结构的制作方法。所述制作方法其包括:提供基片;在第一面覆设光刻胶并经过光刻工艺及回流工艺形成第一胶体;图形转移刻蚀形成第一微透镜;利用键合材料将第一面键合在载片上;在第二面形成第二微透镜,且在刻蚀过程中对载片施加强制冷却;解除第一面与载片的键合,获得双面微透镜结构。本发明将第一面的第一微透镜通过键合材料与载板形成密实键合,将对第一面的吹扫冷却转变为对载板的吹扫冷却,能够避免第一微透镜对冷却气吹扫的影响,提高冷却气吹扫效率和均匀性,进而避免局部温度失控导致的部分光刻胶胶体碳化的问题,从而避免了对第二面的微透镜的结构和外观的影响,显著降低了批量生产时的不良率。

本发明授权双面微透镜结构的制作方法在权利要求书中公布了:1.一种双面微透镜结构的制作方法,其特征在于,包括: 提供基片,所述基片具有相互背对设置的第一面和第二面; 在所述第一面覆设光刻胶并经过光刻工艺及回流工艺形成第一胶体; 利用所述第一胶体对所述第一面进行图形转移刻蚀,在所述第一面形成第一微透镜; 利用键合材料将具有所述第一微透镜的第一面键合在载片上;所述键合的过程具体包括一次键合、退火处理以及二次键合的步骤;所述一次键合用于实现所述第一面与载片的首次结合,进行所述退火处理时撤去键合压力利用温度进行处理,所述二次键合时继续施加键合压力,所述一次键合具体包括:将所述键合材料涂覆于具有所述第一微透镜的第一面上形成键合胶层,所述键合胶层的厚度为所述第一微透镜的高度或深度的1.1-1.3倍,均胶烘烤后形成键合材料层,然后使所述键合材料层贴合在所述载片表面进行压力键合; 在所述第二面覆设光刻胶并经过光刻工艺及回流工艺形成第二胶体; 利用所述第二胶体对所述第二面进行图形转移刻蚀,在所述第二面形成第二微透镜,且在刻蚀过程中对所述载片施加强制冷却; 解除所述第一面与载片的键合,获得双面微透镜结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州苏纳光电有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区华凌街9号泰凌产业园1号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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