成都新紫光半导体科技有限公司沈杰获国家专利权
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龙图腾网获悉成都新紫光半导体科技有限公司申请的专利晶圆平坦化制程的干燥喷射管和晶圆干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223050396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422242245.7，技术领域涉及：F26B21/14；该实用新型晶圆平坦化制程的干燥喷射管和晶圆干燥装置是由沈杰设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆平坦化制程的干燥喷射管和晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：本公开涉及一种晶圆平坦化制程的干燥喷射管和晶圆干燥装置，本晶圆平坦化制程的干燥喷射管包括管体，所述管体用于供氮气和异丙醇流动，所述管体上设置有喷出部，所述喷出部朝向提拉中的晶圆，所述喷出部用于将氮气和异丙醇喷射在所述晶圆上，所述喷出部构造为喷出孔组，所述喷出孔组至少为两个，并沿所述管体的径向方向间隔设置，每个所述喷出孔组包括多个喷出孔，多个所述喷出孔沿所述管体的轴线方向间隔设置。本干燥喷射管在其中一个喷出孔组中的喷出孔出现堵塞时，其他的喷出孔组中的喷出孔依然可以正常喷出氮气和异丙醇，可以保证对晶圆的干燥效果，避免晶圆的表面产生水痕印记。
本实用新型晶圆平坦化制程的干燥喷射管和晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆平坦化制程的干燥喷射管，其特征在于，包括： 管体，所述管体用于供氮气和异丙醇流动，所述管体上设置有喷出部，所述喷出部朝向提拉中的晶圆，所述喷出部用于将氮气和异丙醇喷射在所述晶圆上； 其中，所述喷出部构造为喷出孔组，所述喷出孔组至少为两个，并沿所述管体的径向方向间隔设置，每个所述喷出孔组包括多个喷出孔，多个所述喷出孔沿所述管体的轴线方向间隔设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都新紫光半导体科技有限公司，其通讯地址为：611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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