常州银河电器有限公司顾国金获国家专利权
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龙图腾网获悉常州银河电器有限公司申请的专利一种晶圆片对位测点装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052102U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422238700.6，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种晶圆片对位测点装置是由顾国金;陈迪;胡继发设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片对位测点装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种晶圆片对位测点装置，其特征在于：具有支架，所述支架上设有工作平台，所述工作平台的下部固定连接固定块，所述固定块上设有轨道和气缸，标记头通过滑块装在所述轨道上，且能在气缸驱动下随滑块沿所述轨道升降，所述工作平台的与标记头的对应位置处设有标记孔。本实用新型时，先将晶圆片放置在工作平台上，通过外置显微镜观察晶圆背面缺陷并使用脚踏开关使记号笔在其正面标记，当然这一过程也可以通过自动检测的摄像头自动完成，如此就能达到标记背面存在缺陷的晶粒的效果，从而大大提高背面检测的工作效率，同时增加剔除坏晶粒的准确率。
本实用新型一种晶圆片对位测点装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片对位测点装置，其特征在于：具有支架，所述支架上设有工作平台，所述工作平台的下部固定连接固定块，所述固定块上设有轨道和气缸，标记头通过滑块装在所述轨道上，且能在气缸驱动下随滑块沿所述轨道升降，所述工作平台的与标记头的对应位置处设有标记孔。
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