深圳市炎瑞半导体技术有限公司舒珍珍获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市炎瑞半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆滚贴移膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052113U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422218497.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆滚贴移膜装置是由舒珍珍;杨喜设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆滚贴移膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，且公开了一种晶圆滚贴移膜装置，包括安装底板，所述安装底板的顶部靠左端外表面固定连接有T型安装板，所述T型安装板与T型支撑板相对的外表面之间转动连接有贴膜辊，所述贴膜辊的外表面开设有若干个真空吸孔，所述L型安装板的外表面安装有回转阀，所述回转阀的入口端与贴膜辊的内部固定连通，所述贴膜辊的左右两侧外表面呈对称设置且呈圆周阵列设置有多个定位压紧机构。该晶圆滚贴移膜装置能够将蓝膜按照晶圆大小预先张贴在贴膜辊上，然后再滚贴到晶圆上，相较于现有技术中的晶圆贴膜装置，该方式较为新颖，且经过该装置贴膜后的晶圆成品表面不会产生气泡，成品质量较高。
本实用新型一种晶圆滚贴移膜装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆滚贴移膜装置，包括安装底板1，其特征在于：所述安装底板1的顶部靠右端外表面固定连接有T型支撑板2，所述安装底板1的顶部靠左端外表面固定连接有T型安装板3，所述T型安装板3与T型支撑板2相对的外表面之间转动连接有贴膜辊7，所述贴膜辊7的外表面开设有若干个真空吸孔，所述T型支撑板2远离贴膜辊7的一端外表面固定连接有L型安装板4，所述L型安装板4的外表面安装有回转阀5，所述回转阀5的入口端与贴膜辊7的内部固定连通，所述贴膜辊7的左右两侧外表面呈对称设置且呈圆周阵列设置有多个定位压紧机构6。
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