江苏格朗瑞科技有限公司马以洋获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏格朗瑞科技有限公司申请的专利一种晶圆加工倒膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223052114U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422223105.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆加工倒膜装置是由马以洋设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工倒膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加工倒膜装置，包括具有支腿的平台；平台的上表面设置有由单向气阀控制真空度的真空吸盘，真空吸盘上均匀开设有真空吸孔；真空吸盘的径向外圈设置有一圈与真空吸盘同心的卡槽，卡槽内设置有扩膜环；卡槽的径向外圈设置有通过销钉定位并通过磁铁固定的钢环，且钢环与真空吸盘同心；真空吸盘的下侧设置有由温度控制器控制加热温度的加热圈。本实用新型使用真空吸盘固定需倒膜的晶圆，避免膜形变的同时可保证晶圆受力均匀；通过销钉及卡槽可保证钢环与扩膜环同心；使用真空吸盘固定并沿与真空吸盘平面平行方向撕开膜，可保证倒膜的完整性；通过真空吸盘加热可有效避免胶残留。
本实用新型一种晶圆加工倒膜装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工倒膜装置，其特征在于：包括具有支腿11的平台10； 所述平台10的上表面设置有由单向气阀13控制真空度的真空吸盘12，所述真空吸盘12上均匀开设有真空吸孔121； 所述真空吸盘12的径向外圈设置有一圈与所述真空吸盘12同心的卡槽14，所述卡槽14内设置有扩膜环15； 所述卡槽14的径向外圈设置有通过销钉16定位并通过磁铁17固定的钢环18，且所述钢环18与所述真空吸盘12同心； 所述真空吸盘12的下侧设置有由温度控制器23控制加热温度的加热圈。
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